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【发明公布】一种点接触石英舟_北京凯德石英股份有限公司_202110258411.0 

申请/专利权人:北京凯德石英股份有限公司

申请日:2021-03-10

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN112635370A

主分类号:H01L21/673(20060101)

分类号:H01L21/673(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.06.15#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要:本申请涉及半导体载具的技术领域,涉及一种点接触石英舟,包括下端板,所述下端板上设有放置件,所述放置件包括设置在下端板上的载料棒、若干个沿载料棒长度方向间隔设置的载料板,所述载料板之间用于放置硅片,所述载料板远离载料棒的一端朝远离所述下端板一侧倾斜设置,从而和硅片形成点接触,所述载料棒沿周向设置有不少于三个。本申请具有以下效果:通过多个载料棒设置,可通过至少三个支撑点,对硅片进行支撑,此时载料板对硅片遮挡减小,减小载具和硅片的接触面积,提高了热处理效果。

主权项:1.一种点接触石英舟,包括下端板(100),其特征在于:所述下端板(100)上设有放置件,所述放置件包括设置在下端板(100)上的载料棒(111)、若干个沿载料棒(111)长度方向间隔设置的载料板(112),所述载料板(112)之间用于放置硅片,所述载料板(112)远离载料棒(111)的一端朝远离所述下端板(100)一侧倾斜设置,从而和硅片形成点接触,所述载料棒(111)沿周向设置有不少于三个;所述载料板(112)的一端转动连接在所述载料棒(111)上,所述载料板(112)的另一端位于各个载料棒(111)内侧,所述载料棒(111)上设置有用于依次驱使各个所述载料板(112)转动的驱动件(150),各个所述载料板(112)沿载料棒(111)长度方向排列次序逐个转动,多个所述载料棒(111)沿周向均布。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京凯德石英股份有限公司 一种点接触石英舟

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