申请/专利权人：日本株式会社日立高新技术科学

申请日：2020-09-18

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112635277A

主分类号：H01J37/147(20060101)

分类号：H01J37/147(20060101);H01J37/244(20060101);H01J37/26(20060101);H01J37/28(20060101)

优先权：["20190924 JP 2019-173369"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.06.24#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明提供带电粒子束照射装置和控制方法，能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束；电子束镜筒，其对多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从多层试样产生的二次电子或反射电子；像形成部，其形成基于从电子检测器输出的信号的观察像；以及控制部，其控制会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制：利用会聚离子束朝向层叠方向使多层试样的截面露出，控制部在反复进行露出控制的过程中，每检测出观察对象层在多层试样的截面上露出时，控制电子束镜筒来进行如下观察控制：照射电子束而使像形成部形成多层试样的截面的观察像。

主权项：1.一种带电粒子束照射装置，该带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束，该多层试样是通过将物质或构造互不相同的多个层作为观察对象层而朝向规定的层叠方向层叠而成的，所述观察对象层是进行观察的对象；电子束镜筒，其对所述多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从所述多层试样产生的二次电子或反射电子；像形成部，其形成基于从所述电子检测器输出的信号的观察像；以及控制部，其控制所述会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制：利用所述会聚离子束朝向所述层叠方向使所述多层试样的截面露出，所述控制部在反复进行所述露出控制的过程中，每当检测出所述观察对象层在所述多层试样的截面上露出时，控制所述电子束镜筒来进行如下观察控制：照射所述电子束而使所述像形成部形成所述多层试样的截面的观察像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日本株式会社日立高新技术科学 带电粒子束照射装置和控制方法

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