申请/专利权人：日本株式会社日立高新技术科学

申请日：2020-09-21

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112635278A

主分类号：H01J37/22(20060101)

分类号：H01J37/22(20060101);H01J37/244(20060101);H01J37/28(20060101)

优先权：["20190924 JP 2019-173370"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.06.24#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

主权项：1.一种粒子束照射装置，该粒子束照射装置具备：照射部，其向规定的照射区域内照射粒子束；第1检测部，其对第1粒子进行检测，所述第1粒子是通过对配置在所述照射区域内的试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；第2检测部，其对第2粒子进行检测，所述第2粒子是通过对所述试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；像形成部；以及控制部，其中，所述像形成部执行以下处理：形成基于所述第1检测部检测到所述第1粒子的第1信号的观察像；以及形成基于所述第2检测部检测到所述第2粒子的第2信号的观察像，所述控制部执行以下处理：取得由所述像形成部形成的观察像作为第1观察像，计算所取得的所述第1观察像中的第1区域的亮度，在所述第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据所述第1目标亮度来进行所述第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；以及取得由所述像形成部形成的观察像作为第2观察像，计算所取得的所述第2观察像中的第2区域的亮度，在所述第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据所述第2目标亮度来进行所述第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日本株式会社日立高新技术科学 粒子束照射装置

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