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【发明公布】基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统_株式会社斯库林集团_201980054884.X 

申请/专利权人:株式会社斯库林集团

申请日:2019-07-03

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN112640055A

主分类号:H01L21/304(20060101)

分类号:H01L21/304(20060101);H01L21/027(20060101);H01L21/306(20060101)

优先权:["20180821 JP 2018-154730"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要:相机70通过连续拍摄在处理区间PS1内移动的喷嘴30来获取摄影图像。基准图像登记部90对通过拍摄位于处理区间PS1的第一端TE1及第二端TE2的喷嘴30而获得的第一基准图像及第二基准图像RP1、RP2进行登记。位置偏离检测部91具有:图像判定部910,对于利用相机拍摄在处理区间PS1内移动的喷嘴30而获得的实际图像GP,根据既定的判定规则,判定是否为与所述第一端及所述第二端分别对应的图像;以及图像比较部912,将第一基准图像及第二基准图像RP1、RP2与由图像判定部910判定为与第一端及第二端分别对应的实际图像GP进行比较。

主权项:1.一种基板处理方法,对基板进行处理,其中,包括:工序a,使喷嘴在沿水平方向延伸的既定的处理区间内移动;工序b,拍摄通过所述工序a而在所述处理区间内移动的所述喷嘴;工序c,将在所述工序b中所述喷嘴位于作为所述处理区间的两端的第一端及第二端时所获得的摄影图像登记为第一基准图像及第二基准图像;工序d,使所述喷嘴在所述处理区间内移动;工序e,拍摄通过所述工序d而在所述处理区间内移动的所述喷嘴;工序f,为图像判定工序,对于通过所述工序e而获得的多个摄影图像,根据既定的判定规则,判定是否为与所述第一端及所述第二端分别对应的图像;以及工序g,将所述第一基准图像及所述第二基准图像与通过所述工序f而判定为与所述第一端及所述第二端分别对应的第一实际图像及第二实际图像进行比较,检测在所述工序d中分别配置在所述处理区间的两端的所述喷嘴的位置偏离。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社斯库林集团 基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统

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