申请/专利权人:住友重机械工业株式会社
申请日:2019-08-01
公开(公告)日:2021-04-09
公开(公告)号:CN112639288A
主分类号:F04B37/08(20060101)
分类号:F04B37/08(20060101);F04B37/16(20060101)
优先权:["20180903 JP 2018-164405"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.05.13#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开
摘要:低温泵10具有气体的冷凝层的容纳空间65,并且具备:第1级低温板18,具有以包围容纳空间65的方式配置的第1级低温板内表面;及第2级低温板20,其配置成与容纳空间65一起被第1级低温板内表面包围。第1级热负荷从低温泵10的外部通过进气口12入射于第1级低温板内表面,气体从低温泵10的外部进入容纳空间65。第1级低温板18被冷却至比气体的冷凝温度更高的温度,第2级低温板20被冷却至气体的冷凝温度以下的温度,气体的冷凝层堆积在其上。低温泵10基于第1级热负荷的变化来监视容纳空间65内的冷凝气体量。
主权项:1.一种低温泵,其具有气体的冷凝层的容纳空间,所述低温泵的特征在于,具备:第1级低温板,被冷却至比所述气体的冷凝温度更高的温度,且其具有以包围所述容纳空间的方式配置的第1级低温板内表面;第2级低温板,被冷却至所述气体的冷凝温度以下的温度,并且所述气体的冷凝层堆积在其上,所述第2级低温板配置成其与所述容纳空间一起被所述第1级低温板内表面包围;低温泵进气口,容许从所述低温泵的外部入射于所述第1级低温板内表面的第1级热负荷通过及从所述低温泵的外部进入所述容纳空间的所述气体通过;及第2级低温板监视部,基于所述第1级热负荷的变化来监视所述容纳空间内的冷凝气体量。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 住友重机械工业株式会社 低温泵及低温泵的监视方法
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