申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-08-13

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112640076A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101);H01L21/687(20060101)

优先权：["20180828 US 16/114,558"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本公开内容涉及一种有助于基座的平面度测量的柔性支撑件。柔性支撑件具有第一支撑块，具有大体上平面的上表面和下表面，下表面具有形成在所述下表面中的第一孔。柔性支撑件进一步具有第二支撑块，具有大体上平面的下表面和上表面，上表面具有形成在所述上表面中的第二孔。柔性支撑件进一步具有支撑销，经配置以可容纳于第一孔和第二孔中，支撑销经配置以在通过支撑销的变形而在允许第一支撑块相对于第二支撑块的受限移动的同时，保持第一支撑块和第二支撑块于分隔关系中。柔性支撑件进一步具有导件，设置于第一支撑块与第二支撑块之间，导件经配置以允许第一支撑块和第二支撑块相对于导件轴向地移动。

主权项：1.一种柔性支撑件，用于获得基座的平面度测量结果，所述柔性支撑件包括：第一支撑块，具有大体上平面的上表面、和下表面，所述下表面具有形成在所述下表面中的第一孔；第二支撑块，具有大体上平面的下表面、和上表面，所述上表面具有形成在所述上表面中的第二孔；支撑销，经配置以能够容纳于所述第一孔和所述第二孔中，所述支撑销经配置以在通过所述支撑销的变形而允许所述第一支撑块相对于所述第二支撑块的受限移动的同时，保持所述第一支撑块和所述第二支撑块于分隔关系中；和导件，设置于所述第一支撑块与所述第二支撑块之间，所述导件经配置以允许所述第一支撑块和所述第二支撑块相对于所述导件轴向地移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 显示器CVD腔室的基座的平面度测量

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