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【发明公布】基板处理方法及基板处理装置_株式会社斯库林集团_201980056746.5 

申请/专利权人:株式会社斯库林集团

申请日:2019-07-22

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN112640059A

主分类号:H01L21/306(20060101)

分类号:H01L21/306(20060101);H01L21/304(20060101)

优先权:["20180827 JP 2018-158104"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要:在本发明的基板处理方法中,对具有包含凹部92的图案PT的基板W进行处理。基板处理方法包括处理步骤S1、去除步骤S2、及蚀刻步骤S3。在处理步骤S1中,利用处理液处理基板W。在处理步骤S1之后,在去除步骤S2中,将进入凹部92的处理液自基板W去除。在去除步骤S2之后,在蚀刻步骤S3中,利用蚀刻液对基板W进行蚀刻。

主权项:1.一种基板处理方法,对具有包含凹部的图案的基板进行处理,其中,包括:处理步骤,利用处理液处理上述基板;去除步骤,在上述处理步骤之后,将进入上述凹部的上述处理液自上述基板去除;及蚀刻步骤,在上述去除步骤之后,利用蚀刻液对上述基板进行蚀刻。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社斯库林集团 基板处理方法及基板处理装置

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