申请/专利权人：昭和电工株式会社

申请日：2019-07-30

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112639352A

主分类号：F17C7/00(20060101)

分类号：F17C7/00(20060101);F16K7/16(20060101);F17C13/00(20060101)

优先权：["20180903 JP 2018-164701"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.04.07#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：提供一种含氟气的气体的供给方法，其不会使含氟气的气体的供给设备的装置结构变复杂，并且不会降低含氟气的气体的氟气浓度。实行封闭工序，以压力低于填充容器2内的气压的方式向配管4中的容器阀3与压力调整器7之间的部分导入第2含氟气的气体，该第2含氟气的气体的氟气浓度相对于第1含氟气的气体的氟气体浓度在±10％的范围内。封闭工序之后，将缓冲罐9设为打开状态，从填充容器2向配管4中的容器阀3与压力调整器7之间的部分导入第1含氟气的气体，然后将压力调整器7设为打开状态，在通过压力调整器7调整压力的同时向消费设备20供给第1含氟气的气体。

主权项：1.一种含氟气的气体的供给方法，该方法从含氟气的气体的供给设备向消费所述含氟气的气体的消费设备供给所述含氟气的气体，所述供给设备具备：填充有第1含氟气的气体的填充容器、将所述填充容器的容器阀和所述消费设备连通的配管、设在所述配管上且在调整气压的同时使气体从上游侧流向下游侧的压力调整器、以及与所述配管中的比所述压力调整器靠上游侧的部分连接的缓冲罐，所述供给方法中，在将所述压力调整器设为关闭状态后实行封闭工序，该封闭工序以压力低于所述填充容器内的气压的方式向所述配管中的所述容器阀与所述压力调整器之间的部分导入第2含氟气的气体，该第2含氟气的气体的氟气浓度相对于所述第1含氟气的气体的氟气体浓度在±10％的范围内，该封闭工序之后，在所述配管中的所述容器阀与所述压力调整器之间的部分封闭有所述第2含氟气的气体的状态、并且将所述缓冲罐设为打开状态后，从所述填充容器向所述配管中的所述容器阀与所述压力调整器之间的部分导入所述第1含氟气的气体，然后，将所述压力调整器设为打开状态，在通过所述压力调整器调整压力的同时向所述消费设备供给所述第1含氟气的气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昭和电工株式会社 含氟气的气体的供给方法和供给设备

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