申请/专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司

申请日：2020-11-19

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112626477A

主分类号：C23C14/50(20060101)

分类号：C23C14/50(20060101)

优先权：["20191219 TW 108216962"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.09.01#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种载台组件，包括基座与外墙。所述基座具有基材承载座以及围绕其的圆形凹槽，再者，外墙围绕于圆形凹槽的外围。所述圆型凹槽的外缘与基材承载座的边缘之间具有小于或等于5毫米的第一宽度，以及圆形凹槽的底部与外墙的顶部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度与第一宽度的深宽比为1.5‑4。当基材透过所述载台组件受沉积作用时，载台组件可防止基材的非目标面受到沉积。

主权项：1.一种载台组件，适用于防止基材的非目标面受沉积，其特征在于，所述载台组件包括：基座，具有圆形凹槽，以使所述基座的中间形成圆形的基材承载座，所述圆形凹槽的外缘与所述基座的外缘之间具有第一距离并形成外墙底座，其中所述外墙底座具有外墙底座内面，而所述外墙底座内面相邻所述圆形凹槽；以及外墙，沿着所述外墙底座向上延伸，所述外墙具有外墙内面，而所述外墙内面相邻所述圆形凹槽，其中所述外墙内面与所述外墙底座内面彼此切齐；其中所述圆型凹槽的外缘与所述基材承载座的边缘之间具有第一宽度，以及所述圆形凹槽的底部与所述外墙的顶部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度与所述第一宽度的深宽比为1.5-4；其中所述第一宽度小于或等于5毫米。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鑫天虹(厦门)科技有限公司 载台组件

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD