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【发明公布】检测系统和检测方法_深圳中科飞测科技股份有限公司_202011312617.9 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日:2020-11-20

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN112635343A

主分类号:H01L21/66(20060101)

分类号:H01L21/66(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要:本申请的检测系统包括承载装置和探测装置。承载装置用于承载待检测件,承载装置设有贯穿孔,待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面;探测装置包括第一检测单元和第二检测单元,第一检测单元和第二检测单元设置在承载装置的相背两侧,第一检测单元与第一待检面相对,第二检测单元与第二待检面相对,第二检测单元用于对第二待检面中与贯穿孔对应的第一待检区域进行检测处理,第一检测单元用于对第一待检面中的第二待检区域进行检测处理,第一待检区域与第二待检区域位置对应。检测系统和检测方法能够同时对第一待检面和第二待检面进行检测,检测效率较高。

主权项:1.一种检测系统,其特征在于,包括:承载装置,所述承载装置用于承载待检测件,所述承载装置设有贯穿孔,所述待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面;及探测装置,所述探测装置包括第一检测单元和第二检测单元,所述第一检测单元和所述第二检测单元设置在所述承载装置的相背两侧,所述第一检测单元与所述第一待检面相对,所述第二检测单元与所述第二待检面相对,所述第二检测单元用于对所述第二待检面中与所述贯穿孔对应的第一待检区域进行检测处理,所述第一检测单元用于对所述第一待检面中的第二待检区域进行检测处理,所述第一待检区域与所述第二待检区域位置对应。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳中科飞测科技股份有限公司 检测系统和检测方法

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