申请/专利权人:长江存储科技有限责任公司
申请日:2020-11-20
公开(公告)日:2021-04-09
公开(公告)号:CN112630048A
主分类号:G01N3/20(20060101)
分类号:G01N3/20(20060101);G01N3/24(20060101);G01N3/08(20060101);G01N3/42(20060101);G01Q60/00(20100101);G01N23/2251(20180101);H01L21/66(20060101);H01L23/544(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.04.18#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开
摘要:本发明实施例提供了一种强度测量方法和样品。其中,所述方法包括:通过提供待测半导体结构;选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域;去除待测试区域下方的部分结构,以使所述待测试区域悬空;对所述待测试区域施加载荷;确定所述待测试区域被破坏时,保存当前施加的载荷值;利用保存的载荷值,分析待测试区域的机械强度。
主权项:1.一种强度测量方法,其特征在于,包括:提供待测半导体结构;选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域;去除待测试区域下方的部分结构,以使所述待测试区域悬空;对所述待测试区域施加载荷;确定所述待测试区域被破坏时,保存当前施加的载荷值;利用保存的载荷值,分析待测试区域的机械强度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长江存储科技有限责任公司 强度测量方法和样品
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