申请/专利权人：中国科学院上海应用物理研究所;中国科学院上海高等研究院

申请日：2020-12-09

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112635095A

主分类号：G21K1/06(20060101)

分类号：G21K1/06(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.19#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明涉及一种动态压弯调节装置及动态稳定微米聚焦系统，包括柔顺机构，支撑于其底部的两个安装座上，自安装座的上表面设置有垂直向上延伸的调节板；两个支撑架，分别固定在柔顺机构顶部的两侧；两个连接件，分别与调节板的自由端相连并沿垂直且远离安装座的表面延伸；两个微位移驱动器，分别固定在两个支撑架上且侧壁分别与两个连接件触接；两个反射镜夹持件，分别固定在两个安装座的底面；掠入射反射镜，其两端分别夹设在反射镜夹持件与安装座之间。本发明的动态压弯调节装置及动态稳定微米聚焦系统，利用柔顺机构对掠入射反射镜两端施加可调谐大小的压弯力矩，实时调节反射镜曲率半径，实现动态微米聚焦，提升聚焦光斑大小和位置的稳定性。

主权项：1.一种动态压弯调节装置，包括柔顺机构，支撑于其底部的两个安装座上，自所述安装座的上表面设置有垂直向上延伸的调节板，其特征在于，还包括：两个支撑架，分别固定在所述柔顺机构顶部的两侧；两个连接件，分别与所述调节板的自由端相连并沿垂直且远离所述安装座的表面延伸；两个微位移驱动器，分别固定坐于两个支撑架上且侧壁分别与两个连接件触接；两个反射镜夹持件，分别固定在两个安装座的底面；掠入射反射镜，其两端分别夹设在所述反射镜夹持件与所述安装座之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海应用物理研究所;中国科学院上海高等研究院 一种动态压弯调节装置及动态稳定微米聚焦系统

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