申请/专利权人：湖南顶立科技有限公司

申请日：2020-12-14

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112626490A

主分类号：C23C16/32(20060101)

分类号：C23C16/32(20060101);C23C16/52(20060101);C23C16/448(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.20#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本申请公开了一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备，MTS流量测量只需要利用MTS储罐外的电子称、温度测量只需要利用MTS储罐内的热电偶，避免了MTS的强腐蚀性对于流量计的损坏，降低了器件成本，无需频繁维护，并且能够实施的调节MTS流量，提高了MTS工艺稳定度。方法包括：控制器通过预设MTS流量设置模温机的预设模温机温度；控制器通过热电偶检测到MTS储罐内的当前MTS温度，使得MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将气态MTS带出；控制器通过电子称检测得到当前MTS流量；控制器计算当前MTS流量与预设MTS流量的偏差值；控制器根据偏差值对模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于预设MTS流量。

主权项：1.一种MTS工艺进气流量自动控制方法，其特征在于，应用于碳化硅沉积系统的MTS工艺进气流量自动控制设备，所述MTS工艺进气流量自动控制设备包括MTS储罐、电子称、热电偶、模温机及控制器，所述方法包括：所述控制器通过预设MTS流量设置所述模温机的预设模温机温度；所述控制器通过所述热电偶检测到所述MTS储罐内的当前MTS温度，使得所述MTS储罐内的液态MTS挥发成为气态MTS，并通过过载气体将所述气态MTS带出；所述控制器通过所述电子称检测得到当前MTS流量；所述控制器计算所述当前MTS流量与所述预设MTS流量的偏差值；所述控制器根据所述偏差值对所述模温机的预设模温机温度进行调节，从而调节所述MTS储罐内的MTS温度，使得调节后的MTS流量等于所述预设MTS流量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南顶立科技有限公司 一种MTS工艺进气流量自动控制方法及设备

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