申请/专利权人:长江存储科技有限责任公司
申请日:2020-12-21
公开(公告)日:2021-04-09
公开(公告)号:CN112635349A
主分类号:H01L21/66(20060101)
分类号:H01L21/66(20060101);H01L21/768(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.04.12#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开
摘要:本发明提供一种晶圆表面金属膜厚度测量方法,其包括如下步骤:获得常数参数:在晶圆表面的两个预设点处,获得声波在晶圆表面金属膜内传播的时间差;获得所述两个预设点处的表面高度差;将所述高度差及所述时间差的比值作为所述常数参数;晶圆表面金属膜厚度测量:在晶圆表面的测量点处,获得声波在晶圆表面金属膜内传播的时间,以所述时间与所述常数参数的乘积作为所述测量点处的金属膜厚度。本发明测量方法能够实时监测晶圆表面金属膜的厚度,且测量准确度高,大大提高了产能,节约了成本;并且,无需破坏晶圆即可获得两个预设点处的表面高度差,避免晶圆被破坏,提供了一种无损测量方法。
主权项:1.一种晶圆表面金属膜厚度测量方法,其特征在于,包括如下步骤:获得常数参数:在晶圆表面的两个预设点处,获得声波在晶圆表面金属膜内传播的时间差;获得所述两个预设点处的表面高度差;将所述高度差及所述时间差的比值作为所述常数参数;晶圆表面金属膜厚度测量:在晶圆表面的测量点处,获得声波在晶圆表面金属膜内传播的时间,以所述时间与所述常数参数的乘积作为所述测量点处的金属膜厚度。
全文数据:
权利要求:
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