申请/专利权人:长沙元戎科技有限责任公司
申请日:2020-12-23
公开(公告)日:2021-04-09
公开(公告)号:CN112635286A
主分类号:H01J37/32(20060101)
分类号:H01J37/32(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开
摘要:本发明涉及真空镀膜设备技术领域,提出了一种新型离子源中和器,包括具有空腔的导磁钢外壳、在导磁钢外壳内由下至上依次设置有永磁铁、阳极,导磁钢外壳上设置有离子出射孔,永磁铁的一端与导磁钢外壳的底部连接,另外一端位于阳极下方,还包括直流电源,直流电源与阳极连接,导磁钢接地,增设了设置在离子出射孔旁的电子发生装置,电子发生装置包括不锈钢外壳及设置在不锈钢外壳内的钨丝,不锈钢外壳接负电,不锈钢外壳上设置有朝向离子出射孔的电子出射孔。通过上述技术方案,解决了现有技术中离子源中和器灯丝挥发污染基片、寿命短的问题。
主权项:1.一种新型离子源中和器,包括具有空腔的导磁钢外壳1、在所述导磁钢外壳1内由下至上依次设置有永磁铁2、阳极3,所述导磁钢外壳1上设置有离子出射孔12,所述永磁铁2的一端与所述导磁钢外壳1的底部连接,另外一端位于所述阳极3下方,还包括直流电源5,所述直流电源5输出到所述阳极3,所述导磁钢1接地,其特征在于,增设了设置在所述离子出射孔12旁的电子发生装置,所述电子发生装置包括不锈钢外壳6及设置在所述不锈钢外壳6内的钨丝7,所述不锈钢外壳6接负电,所述不锈钢外壳6上设置有朝向所述离子出射孔12的电子出射孔8。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长沙元戎科技有限责任公司 一种新型离子源中和器
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