买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】一种新型离子源中和器_长沙元戎科技有限责任公司_202011536374.7 

申请/专利权人:长沙元戎科技有限责任公司

申请日:2020-12-23

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN112635286A

主分类号:H01J37/32(20060101)

分类号:H01J37/32(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要:本发明涉及真空镀膜设备技术领域,提出了一种新型离子源中和器,包括具有空腔的导磁钢外壳、在导磁钢外壳内由下至上依次设置有永磁铁、阳极,导磁钢外壳上设置有离子出射孔,永磁铁的一端与导磁钢外壳的底部连接,另外一端位于阳极下方,还包括直流电源,直流电源与阳极连接,导磁钢接地,增设了设置在离子出射孔旁的电子发生装置,电子发生装置包括不锈钢外壳及设置在不锈钢外壳内的钨丝,不锈钢外壳接负电,不锈钢外壳上设置有朝向离子出射孔的电子出射孔。通过上述技术方案,解决了现有技术中离子源中和器灯丝挥发污染基片、寿命短的问题。

主权项:1.一种新型离子源中和器,包括具有空腔的导磁钢外壳1、在所述导磁钢外壳1内由下至上依次设置有永磁铁2、阳极3,所述导磁钢外壳1上设置有离子出射孔12,所述永磁铁2的一端与所述导磁钢外壳1的底部连接,另外一端位于所述阳极3下方,还包括直流电源5,所述直流电源5输出到所述阳极3,所述导磁钢1接地,其特征在于,增设了设置在所述离子出射孔12旁的电子发生装置,所述电子发生装置包括不锈钢外壳6及设置在所述不锈钢外壳6内的钨丝7,所述不锈钢外壳6接负电,所述不锈钢外壳6上设置有朝向所述离子出射孔12的电子出射孔8。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 长沙元戎科技有限责任公司 一种新型离子源中和器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。