申请/专利权人:长沙元戎科技有限责任公司
申请日:2020-12-23
公开(公告)日:2021-04-09
公开(公告)号:CN112635287A
主分类号:H01J37/32(20060101)
分类号:H01J37/32(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开
摘要:本发明涉及离子源技术领域,提出了一种新型离子源等离子体中和器,包括阴极筒、阳极引盘、设置在阴极筒外侧的冷却筒,冷却筒外侧套设有永磁磁环,阳极引盘与阴极筒的一端存在间隔,阴极筒的另一端为进气端,冷却筒上设置有冷却空腔及与冷却空腔连通的进口及出口,阳极引盘接正电,阴极筒接负电。通过上述技术方案,解决了现有技术中等离子中和器成本高及离子源灯丝型中和器电子发生不稳定、连续工作时间短、有污染的问题。
主权项:1.一种新型离子源等离子体中和器,其特征在于,包括阴极筒1、阳极引盘2、设置在所述阴极筒1外侧的冷却筒3,所述冷却筒3外侧套设有永磁磁环4,所述阳极引盘2与所述阴极筒1的一端存在间隔,所述阴极筒1的另一端为进气端,所述冷却筒3上设置有冷却空腔5及与所述冷却空腔5连通的进口6及出口7,所述阳极引盘2接正电,所述阴极筒1接负电。
全文数据:
权利要求:
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