申请/专利权人:浙江启尔机电技术有限公司
申请日:2020-12-25
公开(公告)日:2021-04-09
公开(公告)号:CN112631082A
主分类号:G03F7/20(20060101)
分类号:G03F7/20(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开
摘要:本发明涉及一种浸液供给装置。本发明包括环绕末端物镜的环绕面;环绕面上具有主注液口,顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液;主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路,引流流路连通主进液接口连通,出流流路连通主注液口;引流流路位于出流流路的下方。本发明经主注液口向浸没流场提供浸液,经主供液流路向主注液口提供浸液,设置主供液流路包括引流流路和出流流路,使浸液在出流路的宽度方向上具有更均匀的流量分布;配合在主供液流路中设置孔板以增强流量的均匀效果;有利于浸没流场的稳定流动,避免浸没流场中形成紊流和漩涡,保证浸没流场的光学性质稳定,有利于保证曝光质量。
主权项:1.一种浸液供给装置,其特征在于:包括环绕末端物镜的环绕面;环绕面上具有主注液口,顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液;主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路,引流流路连通主进液接口连通,出流流路连通主注液口;引流流路位于出流流路的下方。
全文数据:
权利要求:
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