申请/专利权人：特铨股份有限公司

申请日：2020-08-28

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN212934582U

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20200508 TW 109115329"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.09#授权

摘要：本创作涉及一种用于无线静电吸盘的粘脱设备及自动粘脱系统，用于一无线静电载盘与一薄化基板的粘合或解离，其该无线静电载盘底面具有导电生成或释放静电电力场的导极，该粘脱设备包含有一框架，一载板静电生成组，一基板移载组，由此，该基板移载组能带动薄化基板与无线静电载盘压合后，能驱动该载板静电生成组使无线静电载盘生成静电电力场，以粘合该薄化基板。通过上述技术手段的具体实现，利用粘脱设备使无线静电载盘可自动粘合薄化基板，其可大幅降低粘合失败率，并减少生裂损或破片的发生，而能在自动清洗、烘烤与预对位后，可供应付高精度的制程需求，并进行自动化粘合。

主权项：1.一种用于无线静电吸盘的粘脱设备，用于一无线静电载盘与一薄化基板的粘合或解离，其该无线静电载盘底面具有导电生成或释放静电电力场的导极，其特征在于，该粘脱设备包含有；一框架；一载板静电生成组，其设于该框架上，该载板静电生成组具有一供无线静电载盘选择性固定的工作平面，且该工作平面上具有对应接触无线静电载盘正负导极的导极，又该工作平面能将该无线静电载盘或该薄化基板定位于一正确位置；一基板移载组，其设于该框架上且与该载板静电生成组相对，使得该基板移载组能吸附一具有正确位置的薄化基板，且相对该载板静电生成组位移；由此，该基板移载组能带动薄化基板与无线静电载盘压合后，能驱动该载板静电生成组使无线静电载盘生成静电电力场，以粘合该薄化基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 特铨股份有限公司 用于无线静电吸盘的粘脱设备及自动粘脱系统

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