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【实用新型】可缓存的硅片运送系统_昆山莱崎龙精密技术有限公司_202022239970.0 

申请/专利权人:昆山莱崎龙精密技术有限公司

申请日:2020-10-10

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN212934575U

主分类号:H01L21/677(20060101)

分类号:H01L21/677(20060101);H01L31/18(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.09#授权

摘要:本实用新型公开一种可缓存的硅片运送系统,包括安装于机架上的底板、支座、传输电机和对称设置于支座两侧的传输皮带,所述支座安装于底板的上表面上,所述传输电机的输出轴上安装有一主驱动轮,所述支座上转动安装有一第一转轴,此第一转轴的两端分别自支座两侧向外伸出,所述第一转轴上并位于支座两侧分别安装有一第一转轮,所述支座的两侧分别转动安装有若干个第二转轮,两个所述立板的上端面之间通过一顶支撑板连接,一驱动组件与两个立板中的至少一个连接,用于驱动两个立板沿竖直方向同步运动。本实用新型实现了对单片硅片的高效、逐片全自动运送,既提高了自动化程度和加工效率,又可以避免人为损伤硅片,提高加工的效率和质量。

主权项:1.一种可缓存的硅片运送系统,其特征在于:包括安装于机架上的底板(1)、支座(2)、传输电机(3)和对称设置于支座(2)两侧的传输皮带(4),所述支座(2)安装于底板(1)的上表面上,用于驱动所述传输皮带(4)的传输电机(3)安装于支座(2)上,用于传输料片(36)的所述传输皮带(4)沿运料方向设置;所述传输电机(3)的输出轴上安装有一主驱动轮(5),所述支座(2)上转动安装有一第一转轴(6),此第一转轴(6)的两端分别自支座(2)两侧向外伸出,位于主驱动轮(5)同侧的第一转轴(6)一端上安装有一从驱动轮(7),此从驱动轮(7)与主驱动轮(5)通过同步带传动连接;所述第一转轴(6)上并位于支座(2)两侧分别安装有一第一转轮(8),所述支座(2)的两侧分别转动安装有若干个第二转轮(9),一活动板(24)可滑动地安装于支座(2)上方并可沿运料方向往复运动,此活动板(24)靠近来料区一端的两个侧端面上分别安装有一可转动的第三转轮(25),位于支座(2)同一侧的第一转轮(8)、第二转轮(9)、第三转轮(25)通过传输皮带(4)传动连接,所述第三转轮(25)的上表面与同侧的一个第二转轮(9)的上表面齐平,使得连接于上表面齐平的第三转轮(25)与第二转轮(9)之间的传输皮带(4)呈可供与料片接触的水平传输面;所述支座(2)上可滑动地安装有一活动块(26),此活动块(26)的上表面与活动板(24)远离第三转轮(25)一端的下表面连接,使得该活动块(26)与活动板(24)同步运动,所述活动块(26)的一个侧端面上安装有一可转动的支撑轮(27),此支撑轮(27)与同侧的第一转轮(8)、第二转轮(9)、第三转轮(25)通过传输皮带(4)传动连接,所述支撑轮(27)与传输皮带(4)的一表面接触,所述第三转轮(25)与传输皮带(4)的另一表面接触;所述传输皮带(4)的外侧分别设置有一立板(31),两个所述立板(31)面对面平行设置,两个立板(31)各自与另一个立板(31)相对的内表面上具有若干个沿竖直方向间隔设置的第二凸条(32),从而在相邻第二凸条(32)间形成一凹槽,并在相对形成于两个立板(31)上的凹槽之间形成一供料片(36)嵌入的置物区;两个所述立板(31)的上端面之间通过一顶支撑板(33)连接,一驱动组件(34)与两个立板(31)中的至少一个连接,用于驱动两个立板(31)沿竖直方向同步运动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 昆山莱崎龙精密技术有限公司 可缓存的硅片运送系统

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