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【实用新型】一种反射光相位信息表征装置_中国科学院上海技术物理研究所_202020747343.5 

申请/专利权人:中国科学院上海技术物理研究所

申请日:2020-05-09

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN212932371U

主分类号:G01N21/25(20060101)

分类号:G01N21/25(20060101);G01J3/42(20060101);G01J3/02(20060101);G01J9/00(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.09#授权

摘要:本专利公开一种反射光相位信息表征装置,该装置分为左臂和右臂,包括:光源、起偏器、第一14波片、第一偏振分束器、第一样品台、第二偏振分束器、第一反射镜、第二样品台、第二反射镜、第二14波片、检偏器、探测器。左、右臂围绕垂直样品台的中心轴旋转可改变入、出射角度。光束经过第一偏振分束器后分为光路1与光路2,汇聚于第二偏振分束器。本装置可同时测量样品不同入射角度条件下反射光的强度和相位信息,即可获取反射光谱的全面信息,为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。

主权项:1.一种反射光相位信息表征装置,包括:光源1、起偏器2、第一14波片3、第一偏振分束器4、第一样品台5、第二偏振分束器6、第一反射镜7、第二样品台8、第二反射镜9、第二14波片10、检偏器11、探测器12,其特征在于:所述装置的左侧为左臂,右侧为右臂,其中左臂包括:光源1、起偏器2、第一14波片3、第一偏振分束器4、第一反射镜7,右臂包括:第二偏振分束器6、第二反射镜9、第二14波片10、检偏器11、探测器12,并且左臂与右臂可独立围绕垂直于第一样品台5的台面中心轴旋转;其光路特征在于:从光源1出来的光首先经过起偏器2、第一14波片3,其次经过第一偏振分束器4,将光路分为光路1与光路2两条光路;光路1的光经过第一样品台5上被测样品后进入第二偏振分束器6,光路2的光经过第一反射镜7后入射在第二样品台8的标准样件上,之后经过第二反射镜9后进入第二偏振分束器6,汇合后的两束光同时出射依次经过第二14波片10、检偏器11,最后进入探测器12。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院上海技术物理研究所 一种反射光相位信息表征装置

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