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【实用新型】一种用于CVD法合成新型碳纤维的组合炉_泉州凯佳新材料研究院有限公司_202020937683.4 

申请/专利权人:泉州凯佳新材料研究院有限公司

申请日:2020-05-28

公开(公告)日:2021-04-09

公开(公告)号:CN212925256U

主分类号:D01F9/133(20060101)

分类号:D01F9/133(20060101);F27B19/04(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.09#授权

摘要:本实用新型公开了一种用于CVD法合成新型碳纤维的组合炉,包括大高温炉、设置在大高温炉中的多个子反应炉;所述大高温炉包括轴向水平放置的圆柱状的大高温炉体、共用水平排气管、测量其中央位置温度的横向热电偶、加热‑保温单元;所述子反应炉形状为圆柱体,其圆柱轴心与大高温炉的圆柱轴心垂直、该子反应炉设置有反应基板、测量该基板温度的竖向热电偶、加热单元、排气口;本技术实现多种新型碳纤维在同一个设备里面的同时合成,克服单个CVD反应炉有着反应时间长、效率低、浪费时间和能源的缺点;不同反应条件得到的新型碳纤维具有不同的性能和用途;由于可分组同时进行严密的可控合成,尤其适用于应用在微机械电子系统MEMS的微米或者纳米碳元件的制备,该组合炉极其易于制造和推广使用。

主权项:1.一种用于CVD法合成新型碳纤维的组合炉,由圆柱状的大高温炉和多个子反应炉组成,其特征在于:所述组合炉包括轴向水平放置的圆柱状的大高温炉体2、设置在圆柱状的大高温炉体2内的多个子反应炉A;所述圆柱状的大高温炉体2内设置有用于测量其中央位置温度的横向热电偶12、加热-保温单元11、水平排气管4、两端开口处的大密封橡胶塞3;所述子反应炉A形状为圆柱体,其圆柱轴心与所述大高温炉的圆柱轴心垂直;所述子反应炉均设置有排气口40,该管口对着水平排气管4的缺口30;所述子反应炉还设置有反应基板5、测量该基板温度的竖向热电偶7、加热单元110、气体导入处的小密封橡胶塞6、导气管8、排气口40。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 泉州凯佳新材料研究院有限公司 一种用于CVD法合成新型碳纤维的组合炉

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