申请/专利权人：山东国晶新材料有限公司

申请日：2020-06-28

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN212915174U

主分类号：B01D53/86(20060101)

分类号：B01D53/86(20060101);B01D53/68(20060101);B01D53/58(20060101);B01D46/24(20060101);B01D46/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.09#授权

摘要：本实用新型提供了一种CVD设备尾气处理装置，包括外壳体、内层过滤装置；外壳体为筒状结构，包括盖体和罐体，盖体罐体之间活动连接；内层过滤装置为环状，内层过滤装置同轴套设于外壳体内，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层、精密过滤器层；本发明将尾气处理前置，有利于减少进入真空泵的氯化铵颗粒，减少真空泵卡死机率，避免故障造成的停产损失；利用先催化、吸附后过滤的双重过滤方式，有效减少氯化铵颗粒的形成及进入真空泵的杂质量，并且方便将过滤器取出更换，大大延长清理周期及清理工作量；由于本装置对尾气有效的进行处理，可有效减少后端尾气处理装置的处理量，节约尾气处理设备运行成本。

主权项：1.一种CVD设备尾气处理装置，其特征在于：包括外壳体、内层过滤装置；外壳体为筒状结构，包括盖体和罐体，盖体、罐体之间可拆卸连接；内层过滤装置为环状，内层过滤装置同轴套设于外壳体内，内层过滤装置侧壁由内至外依次为吸附过滤层、精密过滤器层；所述盖体上端设置有进气烟道；罐体上设置有出气烟道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东国晶新材料有限公司 一种CVD设备尾气处理装置

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