申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司

申请日：2020-07-29

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN212916924U

主分类号：B08B9/34(20060101)

分类号：B08B9/34(20060101);B08B9/32(20060101);B08B13/00(20060101);F26B21/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及机械技术领域。石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于，包括一用于输送石英坩埚的输送架，输送架上安装有带动坩埚运动的输送辊组件；还包括清洗室，清洗室安装在输送架上，且输送架上的部分输送辊组件设置在清洗室内部，清洗室的前后两端分别开设有进料口以及出料口，清洗室的前侧以及后侧均安装有前侧活动门以及后侧活动门；清洗室的底部开设有一排水孔；还包括清洗组件，清洗组件包括用于顶起石英坩埚并带动石英坩埚旋转的顶升旋转机构；顶升旋转机构包括一支撑平台以及用于带动支撑平台运动的动力组件。本专利通过清洗室，工作时与外界隔绝，避免了坩埚清洗吹干时喷射出高压水和高压空气对生产环境造成影响。

主权项：1.石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于，包括一用于输送石英坩埚的输送架，所述输送架上安装有带动石英坩埚运动的输送辊组件；还包括清洗室，所述清洗室安装在所述输送架上，且所述输送架上的部分输送辊组件设置在清洗室内部，所述清洗室的前后两端分别开设有进料口以及出料口，所述清洗室的前侧以及后侧均安装有用于封闭进料口的前侧活动门以及用于封闭出料口的后侧活动门；所述清洗室的底部开设有一排水孔；还包括清洗组件，所述清洗组件包括用于顶起石英坩埚并带动石英坩埚旋转的顶升旋转机构、用于向石英坩埚的内腔输送高压水以及高压气的内清洗管路、用于向石英坩埚的内腔输送高压水以及高压气的外清洗管路，所述内清洗管路以及外清洗管路均安装在清洗室内；所述顶升旋转机构包括一支撑平台以及用于带动支撑平台运动的动力组件，所述支撑平台安装在所述清洗室内，所述动力组件位于所述清洗室外；所述输送辊组件上设有用于支撑平台升降运动途径的间隙。

全文数据：

权利要求：

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