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【发明公布】温控输送装置及方法_长鑫存储技术有限公司_201910952652.8 

申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司

申请日:2019-10-09

公开(公告)日:2021-04-13

公开(公告)号:CN112652547A

主分类号:H01L21/67(20060101)

分类号:H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要:本发明涉及一种温控输送装置及方法,温控输送装置包括:控温机构、取放机构与传热件。上述温控输送装置在使用时,在对晶圆进行加工的过程中,由于需要对晶圆所处的环境进行温度控制,因此通过控温装置保证晶圆处理设备内部的温度。然后,待晶圆在晶圆处理设备内部加工完成后需要转移时,通过取放机构对晶圆处理设备内部的晶圆进行转移,同时由于传热件能够传递控温机构的热量,因此,取放机构会在传热件的作用下进行控温升温或降温,从而保证了晶圆在取放机构上转移时不会出现温差变化,即晶圆转移到另外一个晶圆处理设备中后,控温机构无需对晶圆进行再次升温,从而能够降低晶圆处理设备对于晶圆的加工时间,提高产能。

主权项:1.一种温控输送装置,其特征在于,包括:控温机构、取放机构与传热件,所述控温机构用于对晶圆处理设备中的晶圆进行温度控制,所述取放机构用于转移晶圆,所述控温机构与所述传热件相连通,且所述控温机构内部的热量能够经过所述传热件传递,所述传热件装设在所述取放机构上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 长鑫存储技术有限公司 温控输送装置及方法

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