申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-10-10

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112652598A

主分类号：H01L23/492(20060101)

分类号：H01L23/492(20060101);H01L27/108(20060101);H01L23/528(20060101);H01L23/525(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本公开提出一种焊盘及动态随机存取存储器，焊盘包括框体、多层金属互连结构以及多个导电结构。多层金属互连结构设于框体中，每层金属互连结构包括多条金属线，不同层的金属线在水平面上的正投影相互交叉而具有多个交叉部位，金属线的交叉部位向外延伸形成有扩展结构。多个导电结构分别连接于相邻两层金属线的多个扩展结构之间，导电结构被配置为在相邻两层金属线的扩展结构之间形成电连接。通过上述设计，本公开能够扩展金属互连结构中金属线交叉部位的有效接触面积，从而减小焊盘的等效电阻，增强焊盘的电流导通能力以及散热能力，从而增强焊盘的静电抵抗能力。

主权项：1.一种焊盘，设于动态随机存取存储器，其特征在于，所述焊盘包括：框体；多层金属互连结构，设于所述框体中，每层所述金属互连结构包括多条金属线，不同层的所述金属线在水平面上的正投影相互交叉而具有多个交叉部位，所述金属线的交叉部位向外延伸形成有扩展结构；以及多个导电结构，分别连接于相邻两层所述金属线的多个扩展结构之间，所述导电结构被配置为在相邻两层所述金属线的所述扩展结构之间形成电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 焊盘及动态随机存取存储器

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