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【发明公布】加工装置_株式会社迪思科_202011030298.2 

申请/专利权人:株式会社迪思科

申请日:2020-09-27

公开(公告)日:2021-04-13

公开(公告)号:CN112652576A

主分类号:H01L21/78(20060101)

分类号:H01L21/78(20060101)

优先权:["20191010 JP 2019-186979"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.09.27#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要:本发明提供加工装置,其能够抑制更换时的切削刀具的破损。加工装置具有凸缘机构25。凸缘机构具有:固定凸缘26,其具有形成有外螺纹434的凸部43以及从凸部沿径向突出而对切削刀具21进行支承的支承面441;按压凸缘27,安装于凸部的切削刀具夹持在该按压凸缘与固定凸缘之间;以及固定螺母28,其与凸部紧固从而隔着按压凸缘将切削刀具固定。固定凸缘包含:吸引孔45,其形成于支承面,对切削刀具进行吸引固定;吸引路47,其使吸引孔与吸引源41连通;开闭阀40,其形成于吸引路;以及控制装置100,其对开闭阀进行开闭,在卸下按压凸缘27时,控制装置将开闭阀打开。

主权项:1.一种加工装置,其具有凸缘机构,该凸缘机构用于将中央具有安装孔的圆盘状的切削刀具安装于作为旋转轴的主轴,其特征在于,该凸缘机构具有:固定凸缘部,其具有在前端形成有外螺纹的凸部以及从该凸部沿径向突出而对该切削刀具进行支承的支承面;按压凸缘部,其具有安装于该凸部的安装孔,安装于该凸部的切削刀具夹持在该按压凸缘部与该固定凸缘部之间;以及固定螺母,其在内周形成有与该凸部的外螺纹螺合的内螺纹,该固定螺母与该凸部紧固从而隔着该按压凸缘部将切削刀具固定,该固定凸缘部包含:吸引孔,其形成于该支承面,对切削刀具进行吸引固定;吸引路,其使该吸引孔与吸引源连通;阀,其形成于该吸引路;以及控制部,其对该阀进行开闭而对吸引进行控制,在卸下该按压凸缘部时,该控制部将阀打开而对切削刀具进行吸引,以便切削刀具不会掉落。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社迪思科 加工装置

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