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【发明公布】传感器元件_阿自倍尔株式会社_202011056960.1 

申请/专利权人:阿自倍尔株式会社

申请日:2020-09-30

公开(公告)日:2021-04-13

公开(公告)号:CN112649139A

主分类号:G01L9/00(20060101)

分类号:G01L9/00(20060101);G01L13/02(20060101);G01L13/06(20060101);G01L19/04(20060101)

优先权:["20191009 JP 2019-185769"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.12.16#授权;2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要:本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件的传感器芯片10a具备:第1压力与第2压力的差压测量用的膜片42;第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片43;第1压力导入通路贯通孔21、31、47、槽35、53以及凹陷部33、50,其将第1压力传递至膜片42;以及第2压力导入通路贯通孔20、30、46、槽32、54以及凹陷部40、51,其将第2压力传递至膜片42、43。在利用等效电路表示第1、第2压力向膜片42、43的传递时,第1压力的传递路径与第2压力的传递路径对称。

主权项:1.一种传感器元件,其包括传感器芯片和与该传感器芯片的一面接合的膜片基底,该传感器元件的特征在于,所述传感器芯片具备:第1压力与第2压力的差压测量用的第1膜片;所述第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的第2膜片;第1压力导入通路,其将所述第1压力传递至所述第1膜片;以及第2压力导入通路,其将所述第2压力传递至所述第1膜片和所述第2膜片,所述膜片基底具备:第3膜片,其直接承受具有所述第1压力的测量对象的流体;第4膜片,其直接承受具有所述第2压力的测量对象的流体;第3压力导入通路,其与所述第1压力导入通路连通,将所述第3膜片所承受的所述第1压力传递至所述第1压力导入通路以及所述第1膜片;以及第4压力导入通路,其与所述第2压力导入通路连通,将所述第4膜片所承受的所述第2压力传递至所述第2压力导入通路以及所述第2膜片,第1压力传递介质封入于所述第1压力导入通路至所述第3压力导入通路,第2压力传递介质封入于所述第2压力导入通路至所述第4压力导入通路,所述第1压力传递介质能够将所述第1压力传递至所述第1膜片,所述第2压力传递介质能够将所述第2压力传递至所述第1膜片和所述第2膜片,且在将所述第1压力传递介质以及所述第2压力传递介质的移动量通过电荷模型化、将所述第1压力传递介质以及所述第2压力传递介质的流速通过电流模型化、将所述第1压力和所述第2压力通过电压模型化、将所述第1膜片~所述第4膜片的柔度通过电容模型化,将所述第1压力导入通路~所述第4压力导入通路的流路阻抗通过电阻模型化、利用等效电路表示所述第1压力、所述第2压力向所述第1膜片以及所述第2膜片的传递时,所述第1压力的传递路径与所述第2压力的传递路径对称。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 阿自倍尔株式会社 传感器元件

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