申请/专利权人：恩特格里斯公司

申请日：2020-10-12

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112650021A

主分类号：G03F1/66(20120101)

分类号：G03F1/66(20120101)

优先权：["20191010 US 62/913,518"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本申请案涉及一种具有视窗的光罩盒。所述光罩盒的门包含具有透镜、侧壁及凸缘的视窗。所述视窗可在壳体与盖板之间定位或附贴在门内部。压缩密封件可与所述视窗结合使用。所述侧壁、所述凸缘及所述压缩密封件协作以在维持所期望的保护水平而不受外部污染物影响的同时在所述门中达成压缩配合。

主权项：1.一种光罩盒门，其包括：门壳体；门盖板，其固定到所述门壳体；孔口，其界定在所述门壳体中；及视窗，其包含透镜、侧壁及凸缘，其中所述视窗在所述门壳体与所述门盖板之间容纳在所述光罩盒门内，以使得可通过界定在所述门壳体中的所述孔口观察所述透镜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 恩特格里斯公司 具有视窗的光罩盒

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