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【发明公布】热丝化学气相沉积装置_株式会社神户制钢所_201980057869.0 

申请/专利权人:株式会社神户制钢所

申请日:2019-08-19

公开(公告)日:2021-04-13

公开(公告)号:CN112654731A

主分类号:C23C16/44(20060101)

分类号:C23C16/44(20060101);C23C16/458(20060101)

优先权:["20180910 JP 2018-168448"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要:本发明提供一种能够将多个基材容易地配置在腔室内的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置1具有腔室2、多个丝、分别支撑多个基材5的多个基材支撑体4以及载物台31。多个基材支撑体4能够通过开口部2H沿指定的插入方向插入于腔室2的内部,并以使多个基材5沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑多个基材5。载物台31具有以使多个基材5与多个丝相向被配置的方式容许多个基材支撑体4被载置的载置面,在腔室2的内部以使多个基材支撑体4在腔室宽度方向上邻接被配置的方式支撑多个基材支撑体4。

主权项:1.一种热丝化学气相沉积装置,对多个基材进行包覆处理,其特征在于包括:腔室,具有形成有开口部的腔室主体和以能够封闭以及开放所述开口部的方式安装于所述腔室主体的门部;多个丝,被配置在所述腔室的内部,用于加热原料气体;多个基材支撑体,能够通过所述开口部沿指定的插入方向插入于所述腔室的内部,该多个基材支撑体以使所述多个基材沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑所述多个基材;以及载物台,具有以使所述多个基材与所述多个丝相向配置的方式容许所述多个基材支撑体被载置的载置面,并在所述腔室的内部以使所述多个基材支撑体在与所述插入方向交叉的腔室宽度方向上邻接配置的方式支撑所述多个基材支撑体。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社神户制钢所 热丝化学气相沉积装置

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