申请/专利权人：业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司

申请日：2020-12-16

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112647041A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.27#授权;2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本申请涉及一种镀膜修正掩膜板和蒸镀系统，包括掩膜基板及多个掩膜调节板，掩膜调节板与掩膜基板的形状及尺寸相匹配，使得掩膜基板形成底板掩膜，掩膜调节板置于掩膜基板上形成可调掩膜；多个掩膜调节板和掩膜基板共同界定形成镀膜修正掩膜板的形状；掩膜调节板被构造为能够沿第一方向滑动地连接于掩膜基板一侧，当掩膜调节板沿第一方向滑动时，进而整个镀膜修正掩膜板的形状改变；当镀膜光谱曲线发生改变时，不需要另行重新修剪甚至制作新的镀膜修正掩膜板，直接实现了镀膜修正掩膜板自身形状可调节的功能，提高了镀膜的生产效率。

主权项：1.一种镀膜修正掩膜板，其特征在于，包括：掩膜基板；多个掩膜调节板，每一所述掩膜调节板被构造为能够沿第一方向滑动地连接于所述掩膜基板一侧；其中，所述掩膜调节板的形状、尺寸与所述掩膜基板相匹配，且所述多个掩膜调节板和所述掩膜基板相互配合界定所述镀膜修正掩膜板的形状。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 镀膜修正掩膜板及蒸镀系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD