申请/专利权人:广东广纳芯科技有限公司
申请日:2020-12-18
公开(公告)日:2021-04-13
公开(公告)号:CN112653417A
主分类号:H03H9/17(20060101)
分类号:H03H9/17(20060101);H03H9/02(20060101);H03H3/02(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开
摘要:本发明的声表面波谐振器,包括:衬底;压电层,该压电层形成在所述衬底上并且所述压电层的厚度为0.8μm到1.2μm;以及叉指电极,该叉指电极具有多个形成在所述压电层中的电极指,并且所述电极指的厚度为300nm到500nm,所述电极指的宽度和间距之比即占空比为0.4到0.6。
主权项:1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括:衬底;压电层,该压电层形成在所述衬底上并且所述压电层的厚度为0.8μm到1.2μm;以及叉指电极,该叉指电极具有多个形成在所述压电层中的电极指,并且所述电极指的厚度为300nm到500nm,所述电极指的宽度和间距之比即占空比为0.4到0.6。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 广东广纳芯科技有限公司 声表面波谐振器及该声表面波谐振器的制造方法
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