申请/专利权人：上海博栋化学科技有限公司

申请日：2020-12-23

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112645849A

主分类号：C07C309/12(20060101)

分类号：C07C309/12(20060101);C07C309/17(20060101);C07C303/32(20060101);C07D333/46(20060101);G03F7/004(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2022.06.17#发明专利申请公布后的撤回;2021.06.29#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本发明公开了一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂，其结构式为：其中，R1为以及其它含氧的连接基团，R2为氟代烷基。光产酸剂可以降低光产酸剂的扩散，改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率；在193nm下更具透明性，有利于193nm光源下的曝光；具有优良的耐刻蚀性能；亲水亲油平衡，既具有合适的粘附力，又具有优秀的溶解性，溶解更加均匀，并且合成路线简单。

主权项：1.一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂，其特征在于，所述光产酸剂的结构式为： 其中，R1为以及其它含氧的连接基团，R2为氟代烷基。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海博栋化学科技有限公司 一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法

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