【发明公布】一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法_上海博栋化学科技有限公司_202011541791.0 

申请/专利权人:上海博栋化学科技有限公司

申请日:2020-12-23

发明/设计人:潘惠英;蒋小惠;李嫚嫚;贺宝元;毕景峰

公开(公告)日:2021-04-13

代理机构:

公开(公告)号:CN112645849A

代理人:

主分类号:C07C309/12(20060101)

地址:201614 上海市松江区九亭镇中心路1158号9幢403室

分类号:C07C309/12(20060101);C07C309/17(20060101);C07C303/32(20060101);C07D333/46(20060101);G03F7/004(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.04.13#公开

摘要:本发明公开了一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂,涉及光产酸剂领域,一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂,其结构式为:其中,R1为以及其它含氧的连接基团,R2为氟代烷基。光产酸剂可以降低光产酸剂的扩散,改善边缘粗糙度,减小线宽粗糙度,提高分辨率;在193nm下更具透明性,有利于193nm光源下的曝光;具有优良的耐刻蚀性能;亲水亲油平衡,既具有合适的粘附力,又具有优秀的溶解性,溶解更加均匀,并且合成路线简单。

主权项:1.一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂,其特征在于,所述光产酸剂的结构式为: 其中,R1为以及其它含氧的连接基团,R2为氟代烷基。

全文数据:

权利要求:

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