申请/专利权人：上海交大平湖智能光电研究院;苏州大学

申请日：2020-12-28

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112649999A

主分类号：G02F1/313(20060101)

分类号：G02F1/313(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2021.04.13#公开

摘要：本发明公开了一种基于相变材料的开关式的光波导器件，包括光栅结构、光学薄膜增强层、脊结构、薄膜结构与衬底结构，所述衬底结构上设置有薄膜结构，所述薄膜结构上面中部设置有脊结构，所述脊结构设置有光学薄膜增强层，所述光学薄膜增强层上设置有光栅结构，所述光波导器件的一端面由模式波入射，经过波导后，在光波导器件的另一端面出射波。通过上述方式，本发明能够通过将该材料覆盖至硅波导上形成复合波导结构，切换相变材料的相态就可以切换不同状态的光信号传播，即实现了利用一种结构同时具有时分和波分复用的功能。

主权项：1.一种基于相变材料的开关式的光波导器件，其特征在于包括光栅结构、光学薄膜增强层、脊结构、薄膜结构与衬底结构，所述衬底结构上设置有薄膜结构，所述薄膜结构上面中部设置有脊结构，所述脊结构设置有光学薄膜增强层，所述光学薄膜增强层上设置有光栅结构，所述光波导器件的一端面由模式波入射，经过波导后，在光波导器件的另一端面出射波。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海交大平湖智能光电研究院;苏州大学 一种基于相变材料的开关式的光波导器件及制作方法

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