申请/专利权人:杰宜斯科技有限公司;杰宜斯科技ENP有限公司
申请日:2020-03-20
公开(公告)日:2021-04-13
公开(公告)号:CN112654853A
主分类号:G01N15/06(20060101)
分类号:G01N15/06(20060101);G01N21/31(20060101);H01L21/67(20060101)
优先权:["20190513 KR 10-2019-0055827"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开
摘要:本发明的流动介质监测装置包括:光源部,用于照射光;第一准直器部,对光源部照射的光进行准直;流动池部,在所述流动池部中供流动介质流动,并且允许光沿着流动介质的行进方向行进的同时吸收流动介质的波长;以及光检测部,用于检测穿过流动池部的光的波长。
主权项:1.一种流动介质监测装置,其特征在于,包括:光源部,所述光源部照射光;第一准直器部,对所述光源部照射的光进行准直;流动池部,供流动介质流动,并且使得光沿着流动介质的行进方向行进的同时吸收流动介质的波长;以及光检测部,检测穿过所述流动池部的光的波长。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 杰宜斯科技有限公司;杰宜斯科技ENP有限公司 流动介质监测装置
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