申请/专利权人：日东电工株式会社

申请日：2018-01-15

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN110178187B

主分类号：H01B5/14(20060101)

分类号：H01B5/14(20060101);B32B7/02(20190101);B32B27/08(20060101);B32B27/18(20060101);B32B9/04(20060101);B32B33/00(20060101)

优先权：["20170131 JP 2017-015744"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权;2020.01.03#实质审查的生效;2019.08.27#公开

摘要：透明导电性薄膜具备：透明基材、配置于透明基材的单侧或两侧的透明导电层、以及夹在透明基材与透明导电层之间的中间层，中间层包含：具有5nm以上且不足45nm的中值粒径的第1无机颗粒、具有45nm以上且不足120nm的中值粒径的第2无机颗粒、及树脂，第1无机颗粒相对于树脂100质量份的含有比例为65质量份以上且235质量份以下，第2无机颗粒相对于树脂100质量份的含有比例为5质量份以上且80质量份以下。

主权项：1.一种透明导电性薄膜，其特征在于，具备：透明基材、配置于所述透明基材的单侧或两侧的透明导电层、以及夹在所述透明基材与所述透明导电层之间的中间层，所述中间层包含：具有5nm以上且不足45nm的中值粒径的第1无机颗粒、具有45nm以上且不足120nm的中值粒径的第2无机颗粒、及树脂，所述第1无机颗粒相对于所述树脂100质量份的含有比例为65质量份以上且235质量份以下，所述第2无机颗粒相对于所述树脂100质量份的含有比例为5质量份以上且80质量份以下。

全文数据：透明导电性薄膜技术领域本发明涉及透明导电性薄膜。背景技术以往提出了在透明高分子基材上依次层叠有抗粘连层、色差调整层及透明导电层的透明导电性层叠体例如，参照专利文献1。。专利文献1中记载的透明导电性层叠体中，以规定形状的图案形成有透明导电层。专利文献1中，利用抗粘连层保障抗粘连性，并且利用色差调整层抑制图案的辨识性的差异，从而保障光学特性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-66477号公报发明内容发明要解决的问题然而，专利文献1中，需要设置抗粘连层及色差调整层这2层，因此，有层构成变复杂的不良情况。另外，近年来，期望抗粘连性及光学特性这两者的进一步的提高。本发明的目的在于，提供层构成简单、抗粘连性及光学特性这两者优异的透明导电性薄膜。用于解决问题的方案本发明1包括一种透明导电性薄膜，其具备：透明基材、配置于前述透明基材的单侧或两侧的透明导电层、以及夹在前述透明基材及前述透明导电层之间的中间层，前述中间层包含：具有5nm以上且不足45nm的中值粒径的第1无机颗粒、具有45nm以上且不足120nm的中值粒径的第2无机颗粒、及树脂，前述第1无机颗粒相对于前述树脂100质量份的含有比例为65质量份以上且235质量份以下，前述第2无机颗粒相对于前述树脂100质量份的含有比例为5质量份以上且80质量份以下。本发明2包括1所述的透明导电性薄膜，其中，前述第1无机颗粒及前述第2无机颗粒的、相对于前述树脂100质量份的含有比例为85质量份以上且260质量份以下。本发明3包括1或2所述的透明导电性薄膜，其中，前述中间层具有不足500nm的厚度。本发明4包括1～3中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，前述中间层为抗粘连光学调整层。本发明5包括1～4中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，前述第1无机颗粒及前述第2无机颗粒均为氧化锆颗粒。本发明6包括1～5中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，还具备夹在前述透明基材与前述中间层之间的硬涂层。本发明7包括6所述的透明导电性薄膜，其中，前述硬涂层在其表面具有多个凸起，前述凸起在每1cm2前述硬涂层中的最大凸出长度为200nm以下。发明的效果本发明的透明导电性薄膜的层构成简单，抗粘连性及光学特性这两者优异。附图说明图1示出本发明的透明导电性薄膜的一实施方式在透明基材上设置硬涂层、中间层及透明导电层的方式的截面图。图2示出图1所示的透明导电性薄膜的变形例在透明基材的上下设置硬涂层、中间层及透明导电层的方式。图3示出图1所示的透明导电性薄膜的变形例在透明基材上设置中间层及透明导电层的方式。图4示出图1所示的透明导电性薄膜的变形例在透明基材的上下设置中间层及透明导电层的方式。具体实施方式参照图1对本发明的透明导电性薄膜的一实施方式进行说明。1.透明导电性薄膜如图1所示，该透明导电性薄膜1呈具有规定的厚度的薄膜形状包括片形状，在与厚度方向正交的规定方向面方向延伸，具有平坦的上表面及平坦的下表面2个主表面。透明导电性薄膜1具备：透明基材2、配置于透明基材2的单侧的透明导电层5、夹在透明基材2与透明导电层5之间的硬涂层3及中间层4。具体而言，透明导电性薄膜1依次具备：透明基材2、硬涂层3、中间层4、和透明导电层5。即，透明导电性薄膜1具备：透明基材2、设置于透明基材2上的硬涂层3、设置于硬涂层3上的中间层4、及设置于中间层4上的透明导电层5。优选透明导电性薄膜1仅包含透明基材2、硬涂层3、中间层4及透明导电层5。以下，对各层进行详细叙述。2.透明基材透明基材2为透明导电性薄膜1的下层，为用于确保透明导电性薄膜1的机械强度的支撑层支撑材料。另外，透明基材2具有沿面方向延伸的薄膜形状，具有平坦的上表面及平坦的下表面2个主表面。透明基材2包含高分子薄膜。高分子薄膜具有透明性。作为高分子薄膜的材料，可列举出例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯树脂、例如聚甲基丙烯酸酯等甲基丙烯酸类树脂丙烯酸类树脂和或甲基丙烯酸类树脂、例如聚乙烯、聚丙烯、环烯烃聚合物COP等烯烃树脂、例如聚碳酸酯树脂、例如聚醚砜树脂、例如聚芳酯树脂、例如三聚氰胺树脂、例如聚酰胺树脂、例如聚酰亚胺树脂、例如纤维素树脂、例如聚苯乙烯树脂、例如降冰片烯树脂等。这些高分子薄膜可以单独使用或组合使用2种以上。从透明性、机械特性等观点出发，优选可列举出烯烃树脂，更优选可列举出COP。透明基材2的厚度例如为2μm以上，优选为20μm以上、另外例如为300μm以下，优选为200μm以下。3.硬涂层硬涂层3为提高透明导电性薄膜1的耐擦伤性的层，为夹在透明基材2与接下来说明的中间层4之间的层。硬涂层3具有沿面方向延伸的薄膜形状，具有实质上平坦的上表面及平坦的下表面2个主表面。硬涂层3具有薄膜形状包括片形状并与透明基材2的上表面整面直接接触。硬涂层3例如由公知的树脂组合物形成。另外，树脂组合物也可以以适度的比例含有后述的颗粒包含有机颗粒、无机颗粒的颗粒。另外，硬涂层3可以在其上表面具有多个凸起未图示，这样的凸起在每1cm2硬涂层3中的最大凸出长度例如为200nm以下，优选为100nm以下、更优选为10nm以下，另外，例如为1nm以上。凸起的最大凸出长度为上述上限以下时，能够使硬涂层3的上表面实质上平滑。因此，能够抑制雾度。另外，硬涂层3的上表面的粗糙度表面粗糙度例如为10nm以下，优选为5nm以下，另外，例如为0.1nm以上。硬涂层3的表面粗糙度的测定方法记载在后续的实施例中。硬涂层3的厚度例如为0.1μm以上，优选为0.5μm以上，另外，例如为10μm以下，优选为5μm以下。4.中间层中间层4设置在硬涂层3的上表面。中间层4为夹在硬涂层3与接下来说明的透明导电层5之间的层。另外，中间层4为赋予符合目的的功能性的功能层。具体而言，中间层4为对透明导电性薄膜1赋予抗粘连性、并且对透明导电层5的光学物性进行调整使得在透明导电层5通过后续的工序形成为图案后不会看到非图案部与图案部的差异即抑制图案的辨识的抗粘连光学调整层。中间层4与硬涂层3的上表面整面直接接触。中间层4具有沿面方向延伸的薄膜形状。中间层4具有起因于后面说明的第2无机颗粒的凹凸状的上表面图1中未示出、及与硬涂层3的上表面对应的实质上平坦的下表面2个主表面。中间层4含有：第1无机颗粒、第2无机颗粒、和树脂。具体而言，中间层4由含有第1无机颗粒、第2无机颗粒和树脂的颗粒树脂组合物形成。即，中间层4的材料为颗粒树脂组合物。颗粒树脂组合物优选含有第1无机颗粒、第2无机颗粒、和树脂。更优选颗粒树脂组合物仅包含第1无机颗粒、第2无机颗粒、和树脂。4-1.第1无机颗粒第1无机颗粒为无机颗粒中中值粒径相对较小的小颗粒。第1无机颗粒为提高透明导电性薄膜1的光学特性的光学颗粒，具体而言，为通过将中间层4的折射率调整为期望的范围从而抑制透明导电层5的图案辨识的光学颗粒。作为第1无机颗粒，可列举出例如硅氧化物二氧化硅颗粒、例如包含锆的氧化物氧化锆、钛的氧化物二氧化钛、锌的氧化物、锡的氧化物等的金属氧化物颗粒、例如碳酸钙等碳酸盐颗粒等无机颗粒。第1无机颗粒可以可以单独使用单独的种类、或者也可以组合使用多种。作为颗粒，可列举出优选金属氧化物颗粒、更优选硅氧化物二氧化硅颗粒、锆的氧化物颗粒氧化锆颗粒、进一步优选锆的氧化物颗粒氧化锆颗粒。锆的氧化物颗粒可以通过其添加量容易地改变膜的折射率，因此作为第1无机颗粒是适当的。第1无机颗粒具有5nm以上且不足45nm的中值粒径。第1无机颗粒具有优选6nm以上、更优选9nm以上、进一步优选10nm以上、特别优选12nm以上、最优选15nm以上的中值粒径，另外，具有优选40nm以下、更优选不足40nm、特别优选35nm以下的中值粒径。第1无机颗粒的中值粒径大于上述下限的情况下，能够提高中间层4对透明导电层5的密合力。第1无机颗粒的中值粒径小于上述上限时，透明导电性薄膜1能够具有优异的外观。第1无机颗粒为粒径的分布的标准偏差为10％以内的单分散颗粒。该情况下，第1无机颗粒具有1个中值粒径。另一方面，第1无机颗粒也可以具有2峰性的粒度分布。该情况下，第1无机颗粒具有2个中值粒径。该情况下，第1无机颗粒含有2个中值粒径内具有小的中值粒径的小径颗粒和具有大的中值粒径的大径颗粒。小径颗粒的含有比例相对于大径颗粒100质量份例如为10质量份以上，优选为20质量份以上，另外，例如不足50质量份，优选为20质量份以下。另外，小径颗粒的含有比例相对于树脂100质量份为10质量份以上，优选为20质量份以上、更优选为25质量份以上，另外，例如，不足50质量份，优选为30质量份以下。大径颗粒的含有比例相对于小径颗粒100质量份例如为100质量份以上，优选为300质量份以上、更优选为500质量份以上、另外，例如为1000质量份以下，优选为750质量份以下、更优选为500质量份以下。另外，大径颗粒的含有比例相对于树脂100质量份为50质量份以上，优选为100质量份以上、更优选为130质量份以上，另外，例如为200质量份以下，优选为175质量份以下、更优选为130质量份以下。而且，第1无机颗粒的含有比例相对于树脂100质量份为65质量份以上，优选为70质量份以上、更优选为75质量份以上、进一步优选为80质量份以上、特别优选为90质量份以上、最优选为100质量份以上。另外，第1无机颗粒的含有比例相对于树脂100质量份为235质量份以下，优选为230质量份以下，更优选为200质量份以下，进一步优选为175质量份以下、特别优选为150质量份以下。进而，第1无机颗粒的含有比例相对于中间层4即，颗粒树脂组合物的固体成分例如为30质量％以上，优选为35质量％以上、更优选为40质量％以上、进一步优选为45质量％以上，另外，例如为66质量％以下，优选为63质量％以下、更优选为60质量％以下、进一步优选为50质量％以下。第1无机颗粒的含有比例为上述下限以上时，或者第1无机颗粒的含有比例为上述上限以下时，能够将中间层4的折射率设定为期望的范围。因此，不能减小由透明导电层5形成的图案与非图案的反射率差ΔR、后述，能够抑制透明导电层5的图案辨识。4-2.第2无机颗粒第2无机颗粒为无机颗粒中中值粒径相对于第1无机颗粒相对较大的大颗粒。第2无机颗粒为对透明导电性薄膜1赋予优异的抗粘连性的抗粘连颗粒。作为第2无机颗粒，可列举出第1无机颗粒中例示出的无机颗粒，优选可列举出与第1无机颗粒同一种类的无机颗粒，更优选可列举出锆的氧化物颗粒。第1无机颗粒及第2无机颗粒为同一种类的无机颗粒优选锆颗粒时，能够使透明导电性薄膜1的制造工序简易、并且使中间层4的组成单纯。第2无机颗粒具有45nm以上且不足120nm的中值粒径。第2无机颗粒具有优选55nm以上、更优选60nm以上、进一步优选65nm以上、另外优选110nm以下、更优选100nm以下、进一步优选80nm以下的中值粒径。第2无机颗粒的中值粒径大于上述下限时，透明导电性薄膜1能够具有优异的抗粘连性。第2无机颗粒的中值粒径小于上述上限时，透明导电性薄膜1能够具有优异的外观。需要说明的是，优选第2无机颗粒为粒径的分布的标准偏差为10％以内的单分散颗粒。第2无机颗粒的含有比例相对于树脂100质量份例如为5质量份以上、优选为10质量份以上、更优选超过10质量份、进一步优选为12质量份以上、特别优选为15质量份以上、最优选为20质量份以上。第2无机颗粒的含有比例相对于树脂100质量份例如为80质量份以下、优选不足80质量份、优选为50质量份以下、更优选为30质量份以下、进一步优选为25质量份以下。进而，第1无机颗粒的含有比例相对于中间层4即，颗粒树脂组合物的固体成分例如为2.5质量％以上，优选为5质量％以上、更优选为7质量％以上、进一步优选为7.5质量％以上、特别优选为9质量％以上，另外，例如为23质量％以下，优选为17质量％以下、更优选为15质量％以下。第2无机颗粒相对于第1无机颗粒的含有比例比、第2无机颗粒的质量份数第1无机颗粒的质量份数例如为0.06以上，优选为0.1以上、更优选为0.15以上、进一步优选为0.2以上，另外，例如为0.45以下，优选为0.4以下、更优选为0.3以下。第2无机颗粒的含有比例为上述下限以上时，透明导电性薄膜1能够具有优异的抗粘连性。另一方面，第2无机颗粒的含有比例为上述上限以下时，能够降低中间层4的雾度。第1无机颗粒及第2无机颗粒的总量相对于树脂100质量份的含有比例例如为85质量份以上，优选为100质量份以上，另外，例如为260质量份以下，优选为200质量份以下。第1无机颗粒及第2无机颗粒的总量的含有比例为上述下限以上时，能够使透明导电性薄膜1的总透光率上升。第1无机颗粒及第2无机颗粒的总量的含有比例为上述上限以下时，能够使透明导电性薄膜1的反射色相更加中性。4-3.树脂作为树脂，没有特别限定，例如，可列举出固化性树脂、热塑性树脂例如，聚烯烃树脂等，优选可列举出固化性树脂。作为固化性树脂，可列举出例如通过活性能量射线具体而言，紫外线、电子束等的照射发生固化的活性能量射线固化性树脂、例如通过加热发生固化的热固化性树脂等，优选可列举出活性能量射线固化性树脂、更优选可列举出紫外线固化性树脂。作为活性能量射线固化性树脂，具体而言，可列举出例如氨基甲酸酯丙烯酸酯、环氧丙烯酸酯等甲基丙烯酸系紫外线固化性树脂、例如氨基甲酸酯树脂、例如三聚氰胺树脂、例如醇酸树脂、例如硅氧烷系聚合物、例如有机硅烷缩合物等。优选可列举出甲基丙烯酸系紫外线固化性树脂、更优选可列举出氨基甲酸酯丙烯酸酯。这些树脂可以单独使用或组合使用2种以上。树脂的含有比例为第1无机颗粒及第2无机颗粒的含有比例的剩余部分。具体而言，树脂的含有比例相对于中间层4即，颗粒树脂组合物的固体成分例如为25质量％以上，优选为30质量％以上，另外，例如为60质量％以下，优选为55质量％以下。4-4.中间层的制作方法制作中间层4时，例如，首先，制备上述颗粒树脂组合物。优选将第1无机颗粒、第2无机颗粒、树脂及溶剂配混来制备颗粒树脂组合物溶液涂布液、中间层形成用涂布液。作为溶剂，可列举出有机溶剂，作为这样的有机溶剂，没有特别限定，可列举出例如甲醇、异丙醇、丁醇、乙二醇、乙二醇单丙醚、丙二醇单甲醚等醇系溶剂、例如甲乙酮、甲基异丁基酮等酮系溶剂、例如乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯系溶剂、例如二甲苯、甲苯等芳香族系溶剂等。制备颗粒树脂组合物溶液涂布液时，例如准备预先混合有树脂和、第1无机颗粒及第2无机颗粒中的任一颗粒的颗粒树脂混合物，将该颗粒树脂混合物和另一无机颗粒混合。此时，也可以预先和上述任意原料树脂、第1无机颗粒、第2无机颗粒中的任意者一起配混溶剂。或者溶剂也可以在原料的制备后配混。或者，首先，将树脂和溶剂混合，制备树脂溶液，接着，在树脂溶液中配混第1无机颗粒及第2无机颗粒。进而在树脂中配混第1无机颗粒、第2无机颗粒及溶剂。优选的是，准备树脂和第1无机颗粒预先混合而成的颗粒树脂混合物第1颗粒树脂混合物、以及树脂和第2无机颗粒预先混合而成的颗粒树脂混合物第2颗粒树脂混合物，接着，将它们混合，接着配混溶剂，制备涂布液，并且调整涂布液中的固体成分量。涂布液中的固体成分量例如为0.1质量％以上，优选为1质量％以上，另外，例如为30质量％以下，优选为15质量％以下。需要说明的是，颗粒树脂混合物第1颗粒树脂混合物、第2颗粒树脂混合物可以使用市售品，具体而言，可以使用OPSTAR系列荒川化学株式会社制等。其后，将颗粒树脂组合物溶液涂布于硬涂层3的上表面整面。其后，通过加热将溶剂去除。加热温度例如为50℃以上，优选为55℃以上，另外，例如为100℃以下，优选为80℃以下。加热时间例如为10秒以上，优选为20秒以上，另外，例如为5分钟以下，优选为3分钟以下。由此，形成包含颗粒树脂组合物的涂膜。其后，在颗粒树脂组合物含有活性能量射线固化性树脂的情况下，对涂膜照射活性能量射线。由此，使树脂固化。由此，在硬涂层3的上表面形成中间层4。需要说明的是，中间层4中含有的第1无机颗粒及第2无机颗粒例如通过使中间层4燃烧后，对所得灰分进行元素分析来进行定性分析鉴别。第1无机颗粒及第2无机颗粒通过用激光衍射式粒度分布测定装置等对它们进行粒径测定来进行定量分析。上述定量分析中，得到第1无机颗粒及第2无机颗粒的、具有基于2个中值粒径的2个峰的粒度分布曲线，根据这些峰分别得到第1无机颗粒及第2无机颗粒的中值粒径及配混比例。4-5.中间层的物性中间层4的雾度例如为0.7以下，优选为0.6以下，更优选为0.5以下、进一步优选为0.4以下，另外，例如超过0。中间层4的雾度低于上述上限时，透明导电性薄膜1的光学特性优异。中间层4的雾度的测定方法记载在后面的实施例中。中间层4的上表面的粗糙度表面粗糙度例如为10nm以下，优选为6nm以下，另外，例如为0.3nm以上，优选为0.5nm以上。中间层4的厚度例如不足500nm，优选为300nm以下、更优选为200nm以下、进一步优选为140nm以下、特别优选为120nm以下、最优选为105nm以下。另外，中间层4的厚度例如为10nm以上，优选为50nm以上、更优选为60nm以上。中间层4的厚度低于上述上限时，能够实现透明导电性薄膜1的薄型化。进而，中间层4的厚度低于上述上限时，能够实现由透明导电层5形成的图案部后述的细线化。5.透明导电层透明导电层5为透明导电性薄膜1的上层，具体而言，配置于透明基材2的上侧。透明导电层5为用于在后续的工序中形成为图案从而形成图案部未图示的导电层。透明导电层5具有沿面方向延伸的薄膜形状包括片形状，具有平坦的下表面及平坦的上表面。透明导电层5与中间层4的上表面整面直接接触。作为形成透明导电层5的材料，例如可列举出包含选自由In、Sn、Zn、Ga、Sb、Ti、Si、Zr、Mg、Al、Au、Ag、Cu、Pd、W组成的组中的至少1种金属的金属氧化物。金属氧化物中根据需要可以进而掺杂上述组所示的金属原子。作为材料，优选可列举出铟锡复合氧化物ITO、锑锡复合氧化物ATO等，更优选可列举出ITO。透明导电层5的厚度例如为10nm以上，优选为20nm以上，另外，例如为35nm以下，优选为30nm以下。通过公知方法在中间层4的上表面整面形成透明导电层5。由此，得到依次具备透明基材2、硬涂层3、中间层4及透明导电层5的透明导电性薄膜1。6.透明导电性薄膜的制造方法及物性该透明导电性薄膜1通过在透明基材2的上侧依次配置硬涂层3、中间层4及透明导电层5来获得。需要说明的是，对于制造透明导电性薄膜1的方法，以卷对卷rolltoroll方式实施。另外，也可以以分批方式实施一部分或全部。透明导电性薄膜1的厚度例如为200μm以下，优选为150μm以下，另外，例如为20μm以上，优选为30μm以上。7.透明导电性薄膜的使用这样的透明导电性薄膜1例如设置于图像显示装置。尤其是该透明导电性薄膜1例如作为触摸面板用基材使用。作为触摸面板的形式，可列举出光学方式、超声波方式、电容型、阻抗膜方式等各种方式。透明导电性薄膜1特别适合用于电容型的触摸面板。具体而言，首先，例如，通过蚀刻将透明导电性薄膜1的透明导电层5去除等，形成图案部未图示和非图案部未图示。透明导电性薄膜1的图案部与非图案部的反射率差ΔR以其绝对值计例如为2以下，优选为1.5以下、更优选为1.0以下、进一步优选为0.5以下。反射率差ΔR为上述上限以下时，能够抑制透明导电层5的图案部的辨识。透明导电性薄膜1的反射率差ΔR为图案部的反射率R1减去非图案部的反射率R2所得的值，例如，根据日本特开2015-166184号公报等中记载的方法求出。其后，将透明导电性薄膜1设置于上述图像显示装置中。8.作用效果该透明导电性薄膜1中，中间层4包含具有5nm以上且不足45nm的中值粒径的第1无机颗粒、具有45nm以上且不足120nm的中值粒径的第2无机颗粒、和树脂，因此抗粘连性及光学特性这两者优异。然而，专利文献1中需要设置抗粘连层及色差调整层这2层，因此，有层构成变复杂的不良情况。但是，该透明导电性薄膜1中，由于中间层4为抗粘连光学调整层，因此层构成简易，并且能够可靠地对透明导电性薄膜1赋予抗粘连性、并且可靠地抑制透明导电层5的图案的辨识。进而，该透明导电性薄膜1中，第1无机颗粒相对于树脂100质量份的含有比例为65质量份以上且235质量份以下，第2无机颗粒相对于树脂100质量份的含有比例为5质量份以上且80质量份以下。因此，能够抑制透明导电层5的图案辨识、并且透明导电性薄膜1能够具有优异的抗粘连性及优异的外观。其结果，透明导电性薄膜1的层构成简单，抗粘连性及光学特性这两者优异。另外，该透明导电性薄膜1中，第1无机颗粒及第2无机颗粒相对于树脂100质量份的含有比例为85质量份以上时，能够使透明导电性薄膜1的总透光率上升，另外，为260质量份以下时，能够使透明导电性薄膜1的反射色相更加中性。进而，该透明导电性薄膜1中，中间层4的厚度不足500nm时，能够实现透明导电性薄膜1的薄型化。进而中间层4的厚度为200nm以下时，能够实现由透明导电层5形成的图案部的细线化。进而，该透明导电性薄膜1中，第1无机颗粒及第2无机颗粒均为氧化锆颗粒时，中间层4能够容易地进行光学调整、并且能够得到高品质的透明导电性薄膜1。另外，该透明导电性薄膜1具备硬涂层3，因此能够提高透明导电性薄膜1的耐擦伤性。进而，该透明导电性薄膜1中，硬涂层3在其表面具有多个凸起、凸起在每1cm2硬涂层3中的最大凸出长度为200nm以下时，能够保障硬涂层3的平滑性、能够抑制雾度。9.变形例变形例中，对与上述一实施方式同样的构件及工序标记同一参照符号，省略其详细的说明。图1所示的一实施方式中，透明导电性薄膜1具备：仅配置于透明基材2的上侧的硬涂层3、中间层4及透明导电层5。但是，硬涂层3、中间层4及透明导电层5的配置不限定于上述，例如，如图2所示，也可以在透明基材2的上下两侧两面具备分别依次配置的硬涂层3、中间层4及透明导电层5。即，如图2所示，该透明导电性薄膜1具备：透明基材2、配置于透明基材2的两侧的2个透明导电层5、夹在透明基材2与透明导电层5之间的2个硬涂层3及2个中间层4。根据图2所示的变形例，也能够发挥与图1所示的一实施方式同样的作用效果。另外，图1所示的一实施方式中，透明导电性薄膜1具备硬涂层3。但是，也可以如图3所示，透明导电性薄膜1不具备硬涂层3、仅依次具备透明基材2、中间层4及透明导电层5。该变形例中，优选透明导电性薄膜1仅包含透明基材2、中间层4及透明导电层5。中间层4配置于透明基材2的上表面。具体而言，中间层4与透明基材2的上表面整面直接接触。根据图3所示的变形例，也能够发挥与图1所示的一实施方式同样的作用效果。另外，如图4所示，透明导电性薄膜1也可以在透明基材2的上下两侧具备分别依次配置的中间层4及透明导电层5。如图4所示，该透明导电性薄膜1具备：透明基材2、配置于透明基材2的两侧的透明导电层5、及夹在透明基材2与透明导电层5之间的中间层4。根据图4所示的变形例，能够发挥与图1所示的一实施方式同样的作用效果。也可以适宜组合上述变形例。例如，可以参照图1那样，在透明基材2的上侧设置硬涂层3、中间层4及透明导电层5，另一方面，参照图4那样，在透明基材2的下侧仅设置中间层4及透明导电层5。实施例以下示出实施例及比较例，进一步对本发明进行说明。需要说明的是，本发明不受任何实施例及比较例限定。另外，以下的记载中使用的配混比例含有比例、物性值、参数等具体的数值可以替换为上述“具体实施方式”中记载的与它们相对应的配混比例含有比例、物性值、参数等该记载的上限值定义为“以下”、“不足”的数值或下限值定义为“以上”、“超过”的数值。涂布液的制备制备例1将预先配混有作为紫外线固化性树脂的氨基甲酸酯丙烯酸酯及作为第1无机颗粒的中值粒径为30nm的氧化锆颗粒的第1颗粒树脂混合物荒川化学工业株式会社制、品名“OPSTARZ7412”、第1无机颗粒的含有比例：47质量％和预先配混有作为紫外线固化性树脂的氨基甲酸酯丙烯酸酯及作为第2无机颗粒的中值粒径为64nm的氧化锆颗粒的第2颗粒树脂混合物荒川化学工业株式会社制、品名“OPSTARKZ6941”第2无机颗粒的含有比例：47质量％以表1的配混比例混合，进而以固体成分浓度成为3.5质量％的方式配混溶剂乙酸丁酯，制备混合涂布液中间层形成用涂布液。制备例2～比较制备例2按照表1的记载变更第1颗粒树脂混合物及第2颗粒树脂混合物的配混比例，除此以外，与制备例1同样地操作，制备涂布液中间层形成用涂布液。[表1]以下示出表1中的各涂布液的详细情况。OPSTARZ7412：第1颗粒树脂混合物、中值粒径为30nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒的含有比例47质量％OPSTARKZ6954：第1颗粒树脂混合物、中值粒径为25nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒、大径颗粒的含有比例54质量％、中值粒径为10nm的二氧化硅颗粒第1无机颗粒、小径颗粒的含有比例13质量％OPSTARKZ6734：第1颗粒树脂混合物、中值粒径为30nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒的含有比例72质量％OPSTARKZ6956：第2颗粒树脂混合物、中值粒径为25nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒的含有比例54质量％OPSTARKZ6941：第2颗粒树脂混合物、中值粒径为64nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒的含有比例47质量％OPSTARRA009：第2颗粒树脂混合物、中值粒径为64nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒的含有比例54质量％OPSTARRA010：第2颗粒树脂混合物、中值粒径为64nm的氧化锆颗粒第1无机颗粒的含有比例72质量％实施例1在作为透明基材2的100μm厚的COP薄膜ZEONORZF-16、ZeonCorporation制的上表面设置由有机无机混合树脂KZ6506JSR公司制形成的厚度1μm的硬涂层3。接着，用线棒在硬涂层3的上表面涂布制备例1的涂布液，用干燥烘箱在60℃的气氛下干燥1分钟，使溶剂挥发，形成涂膜。其后，在氧浓度2500ppm气氛下，使用160Wcm2的空气冷却汞灯EYEGRAPHICSCO.,LTD.制对涂膜以照度60mWcm2、照射量280mJcm2照射紫外线，使涂膜固化。由此，在硬涂层3的上表面形成厚度为85nm的中间层4。其后，在中间层4的上表面形成厚度25nm的由ITO形成的透明导电层5。由此，得到透明导电性薄膜1。实施例2～比较例2基于表2，变更中间层4的配方，除此以外，与实施例1同样地进行处理，得到透明导电性薄膜1。评价测定以下的项目。将其结果示于表2。中间层的厚度对于中间层4的厚度，由利用分光光度计型号“U4100”、HitachiHigh-TechnologiesCorporation.制得到的反射光谱的峰波长来求出。抗粘连性用手指将COP薄膜ZEONOR薄膜ZF-16、ZeonCorporation制压接于中间层4，观察其贴附的程度，按照下述基准评价抗粘连性。○：未发生COP薄膜的贴附。△：暂时发生COP薄膜的贴附，但经过10秒时COP薄膜从中间层4脱离。×：发生COP薄膜的贴附，该COP薄膜即使经过10秒，COP薄膜也不从中间层4脱离。中间层的雾度利用雾度计HM-150、村上色彩技术研究所株式会社制对形成了中间层4且形成透明导电层5之前的透明导电性薄膜1的雾度进行测定。中间层的折射率用高速光谱椭偏仪M-2000、J.A.WoollamJapan.制求出中间层4的折射率。硬涂层的表面粗糙度利用AFMDigitalInstruments公司制求出硬涂层3的表面粗糙度。[表2]需要说明的是，上述发明以本发明的例示的实施方式的形式来提供，但这仅仅是例示，并不限定性地解释。对于本领域技术人员显而易见的本发明的变形例包含在前述权利要求书中。产业上的可利用性透明导电性薄膜例如作为触摸面板用基材使用。附图标记说明1透明导电性薄膜2透明基材3硬涂层4中间层5透明导电层

权利要求：1.一种透明导电性薄膜，其特征在于，具备：透明基材、配置于所述透明基材的单侧或两侧的透明导电层、以及夹在所述透明基材与所述透明导电层之间的中间层，所述中间层包含：具有5nm以上且不足45nm的中值粒径的第1无机颗粒、具有45nm以上且不足120nm的中值粒径的第2无机颗粒、及树脂，所述第1无机颗粒相对于所述树脂100质量份的含有比例为65质量份以上且235质量份以下，所述第2无机颗粒相对于所述树脂100质量份的含有比例为5质量份以上且80质量份以下。2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其特征在于，所述第1无机颗粒及所述第2无机颗粒的、相对于所述树脂100质量份的含有比例为85质量份以上且260质量份以下。3.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其特征在于，所述中间层具有不足500nm的厚度。4.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其特征在于，所述中间层为抗粘连光学调整层。5.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其特征在于，所述第1无机颗粒及所述第2无机颗粒均为氧化锆颗粒。6.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其特征在于，还具备夹在所述透明基材与所述中间层之间的硬涂层。7.根据权利要求6所述的透明导电性薄膜，其特征在于，所述硬涂层在其表面具有多个凸起，所述凸起在每1cm2所述硬涂层中的最大凸出长度为200nm以下。

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