申请/专利权人：北京中科富海低温科技有限公司;中国科学院理化技术研究所

申请日：2019-01-03

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN109631494B

主分类号：F25J3/08(20060101)

分类号：F25J3/08(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权;2019.05.10#实质审查的生效;2019.04.16#公开

摘要：一种氦气生产系统，包括BOG提氦压缩机、多股流换热器、第一节流阀、第一分离器、冷却器和第二分离器。BOG提氦压缩机的出口和多股流换热器的第一入口连接，多股流换热器的第一出口和第一节流阀的入口连接，第一节流阀的出口和第一分离器的入口连接，第一分离器的气体出口和冷却器的入口连接，冷却器的出口和第二分离器的入口连接，第二分离器的气体出口和多股流换热器的第二入口连接，多股流换热器的第二出口输出粗氦气。上述氦气生产系统，经第一次气液分离可以去除冷凝的甲烷和氮气。经第二次气液分离可以再次去除冷凝的甲烷和氮气。因此，上述氦气生产系统可以有效提高氦气的提取纯度。此外，还提供一种氦气生产方法。

主权项：1.一种氦气生产系统，其特征在于，包括BOG提氦压缩机、多股流换热器、第一节流阀、第一分离器、冷却器和第二分离器；BOG气体从所述BOG提氦压缩机的入口进入所述BOG提氦压缩机，所述BOG提氦压缩机的出口和所述多股流换热器的第一入口连接，所述多股流换热器的第一出口和所述第一节流阀的入口连接，所述第一节流阀的出口和所述第一分离器的入口连接，所述第一分离器的气体出口和所述冷却器的入口连接，所述冷却器的出口和所述第二分离器的入口连接，所述第二分离器的气体出口和所述多股流换热器的第二入口连接，所述多股流换热器的第二出口输出粗氦气；所述氦气生产系统还包括第二节流阀和第一开关阀，所述第一分离器的液体出口和所述第二节流阀的入口连接，第二节流阀的出口和所述多股流换热器的第三入口连接，所述多股流换热器的第三出口和所述第一开关阀的入口连接，所述第一开关阀的出口和BOG压缩机的入口连接。

全文数据：一种氦气生产系统和生产方法技术领域本发明涉及尾气回收技术领域，尤其涉及一种氦气生产系统和生产方法。背景技术氦气因具有极低沸点、密度和强化学和放射惰性等特殊性质，成为发展国防军工和高科技不可缺少的重要气体之一，在航空航天、核武器、潜艇、饱和潜水作业、核磁共振、半导体、手机、液晶屏幕、光纤、大科学装置等国防、工业、科技领域具有不可替代的作用。氦气在空气中的含量仅为5ppm，主要存在于天然气中，因此氦的生产几乎全部来自天然气。美国的天然气氦资源丰富，氦含量高平均约为0.8％，个别高达7.5％，产量和消费量均居全球之首。我国氦资源匮乏，天然气中氦的含量最高仅为0.2％，不具有经济提氦的价值。因此我国一直依靠从国外进口所需的氦。由于氦气价格昂贵，对我国大量使用氦的领域和相关的科研、生产单位产生了重大影响。目前，我国在大鄂尔多斯盆地天然气田中，发现天然气中含氦量约0.04％～0.1％，虽然氦含量很低，但总贮量巨大。为便于调峰、点供，往往采用将管道天然气液化的方式进行储存和运输，而将天然气进行液化的装置即为LNGLiquefiedNaturalGas生产装置。在LNG的生产过程中，末级节流阀在节流过程中会产生大量闪蒸气，而常压下氦气、氢气、氮气及甲烷的液化温度分别为-269℃、-253℃、-196℃和-162℃，在储罐压力下氦气、氢气及部分氮气会从LNG中挥发出来，此时相比原料天然气，由于烃类等气体被液化，因此氦气等不凝性气体得到了一次富集。末级节流阀出口的气液混合物之后通过LNG低温管道进入LNG大贮罐，由于储罐漏热和装车站也会产生蒸发汽该部分气体主要为甲烷及氮气，两部分气体混合统称为BOG气体。在实际运行过程中，BOG气体流量也很可观，最大会占到原料气流量的8％左右，因此LNG生产工艺流程都会有专门的回收工艺回收BOG气体，常见的有以下三种方案或三种方案的组合，见图1-3。图1为BOG回收方案1：LNG贮罐中的BOG气体经过复温或不复温，通过BOG压缩机进行压缩，根据LNG装置情况汇合回到原料气预处理前或者原料气预处理后，再次进行液化。图2为BOG回收方案2：LNG贮罐中的BOG气体经过复温或不复温，通过BOG压缩机1压缩到中压，一部分气体作为燃料气进行燃烧，其余部分通过BOG压缩机2进一步压缩到与原料气相同压力，根据LNG装置情况汇合回到原料气预处理前或者原料气预处理后，再次进行液化。图3为BOG回收方案3：LNG贮罐中的BOG气体经过复温或不复温，通过BOG压缩机1压缩到中压，一部分气体作为燃料气进行燃烧，其余部分用作分子筛吸附塔的再生气，之后再进入BOG压缩机2压缩到与原料气相同压力，根据LNG装置情况汇合回到原料气预处理前或者原料气预处理后，再次进行液化。以上三种BOG回收方案可能单独设置，也可能同时组合设置。BOG经过多次循环，其中的氦、氢等不凝性气体不断浓缩富集。在有一部分BOG被烧掉的情况下，BOG中的氦气仍然会富集到1％～3％；若燃料气采用原料气或净化气经原料气预处理则BOG中的氦气甚至会富集到9％。此时若利用BOG气体进行氦气提取，具备非常低的提氦能耗，完全具备提纯氦气的工业开发价值。随着LNG产业的迅速发展和广泛应用，中国国内的LNG工厂不断增多，工厂内产生的BOG废气量也在不断增加，因此采用新工艺从LNG生产中BOG提氦，是适合我国国情的从天然气中经济提取氦气的好方法，将有助于缓解我国氦资源贫乏与氦气需求的矛盾。然而，传统的从LNG生产装置的BOG气体中提氦的方法，通常提取纯度较低。发明内容鉴于此，有必要提供一种氦气提取纯度较高的氦气生产系统和生产方法。一种氦气生产系统，包括BOG提氦压缩机、多股流换热器、第一节流阀、第一分离器、冷却器和第二分离器；BOG气体从所述BOG提氦压缩机的入口进入所述BOG提氦压缩机，所述BOG提氦压缩机的出口和所述多股流换热器的第一入口连接，所述多股流换热器的第一出口和所述第一节流阀的入口连接，所述第一节流阀的出口和所述第一分离器的入口连接，所述第一分离器的气体出口和所述冷却器的入口连接，所述冷却器的出口和所述第二分离器的入口连接，所述第二分离器的气体出口和所述多股流换热器的第二入口连接，所述多股流换热器的第二出口输出所述粗氦气。在一个实施例中，还包括第二节流阀和第一开关阀，所述第一分离器的液体出口和所述第二节流阀的入口连接，第二节流阀的出口和所述多股流换热器的第三入口连接，所述多股流换热器的第三出口和所述第一开关阀的入口连接，所述第一开关阀的出口和BOG压缩机的入口连接。在一个实施例中，还包括第三分离器和第二开关阀，所述第二节流阀的出口和所述第三分离器的入口连接，所述第三分离器的气体出口和所述多股流换热器的第四入口连接，所述多股流换热器的第四出口和所述第二开关阀的入口连接，所述第二开关阀的出口和所述BOG提氦压缩机的入口连接；所述第三分离器的液体出口和所述多股流换热器的第三入口连接，所述多股流换热器的第三出口和所述第一开关阀的入口连接，所述第一开关阀的出口和所述BOG压缩机连接。在一个实施例中，还包括第三节流阀、第三开关阀和第四开关阀，所述第二分离器的液体出口和所述多股流换热器的第五入口连接，所述多股流换热器的第五出口和所述第三节流阀的入口连接，所述第三节流阀的出口和所述第四开关阀的入口连接，所述第四开关阀的出口和BOG压缩机的入口连接；所述第三节流阀的出口还和所述第三开关阀的入口连接，所述第三开关阀的出口输出氮甲烷混合气体。在一个实施例中，还包括氦气提纯装置，所述氦气提纯装置包括催化脱氢装置，所述催化脱氢装置和所述多股流换热器的第二出口连接，所述催化脱氢装置用于去除所述粗氦气中的氢气。在一个实施例中，所述氦气提纯装置还包括外纯化器和内纯化器中的一种和氦液化器，所述外纯化器或所述内纯化器和所述催化脱氢装置连接，所述氦液化器和所述外纯化器或所述内纯化器连接。在一个实施例中，所述氦气提纯装置还包括变压吸附装置或变温吸附装置，所述变压吸附装置或所述变温吸附装置和所述催化脱氢装置连接。在一个实施例中，所述冷却器为液氮或减压液氮温区冷却器。一种氦气生产方法，包括以下步骤：将BOG气体压缩后冷却液化，得到液化后的BOG；将所述液化后的BOG进行节流，所述液化后的BOG中溶解氦气部分变成气态，得到第一气液混合BOG；将所述第一气液混合BOG进行气液分离，得到混合气体和第一BOG凝液；将所述混合气体进一步降温，将所述混合气体中氮气和甲烷液化，得到第二气液混合BOG；将所述第二气液混合BOG进行气液分离，得到粗氦气和第二BOG凝液。在一个实施例中，还包括以下步骤：将所述粗氦气进行脱氢处理；将脱氢处理后的氦气进行干燥。在一个实施例中，还包括以下步骤：将脱氢处理后的粗氦气进行低温吸附或低温冷凝冷冻去除杂质，然后将去除杂质后的氦气进行液化，得到液氦产品。在一个实施例中，还包括以下步骤：将脱氢处理后的粗氦气经变压吸附或变温吸附对杂质进行脱除，得到高纯氦气产品。在一个实施例中，LNG生产工艺中形成的BOG气体中的一部分通过BOG压缩机进行回收液化，对BOG气体中的氦气进行循环富集，所述BOG气体中的另一部分进行氦气生产。上述氦气生产系统，通过多股流换热器降温后将BOG气体中的部分甲烷和氮气液化，经过第一节流阀节流后，大部分氦气闪蒸变为气态。经第一分离器中进行第一次气液分离，可以去除冷凝的甲烷和氮气。再经过冷却器将气液分离后的气体再次冷凝降温，可以再次将气体中含有的甲烷和氮气液化。经第二分离器进行第二次气液分离后，可以再次去除冷凝的甲烷和氮气。因此，上述氦气生产系统可以有效提高氦气的提取纯度。上述氦气生产方法，降温后将BOG气体中的部分甲烷和氮气液化，再经过节流后，大部分氦气闪蒸变为气态。经第一次气液分离，可以去除冷凝的甲烷和氮气。再将气液分离后的气体再次冷凝降温，可以再次将气体中含有的甲烷和氮气液化。经第二次气液分离后，可以再次去除冷凝的甲烷和氮气。因此，上述氦气生产方法可以有效提高氦气的提取纯度。附图说明图1为第一种方式BOG回收系统的结构示意图；图2为第二种方式BOG回收系统的结构示意图；图3为第三种方式BOG回收系统的结构示意图；图4为一实施方式的氦气生产系统的结构示意图；图5为基于现有LNG生产装置联产氦气的系统技术路线图。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。本发明中所说的固定连接，包括直接固定连接和间接固定。传统的LNG生产装置的BOG回收流程为：由LNG贮罐来的BOG气体根据现有LNG生产装置进行复温或不复温，之后进入BOG压缩机。基于现有LNG生产装置联产氦气，为了提高氦产量，BOG气体不能再作为燃料气进行使用，而是采用原料气或原料气预处理后的净化气作为替代，由于LNG生产装置都留有相关管线，因此该操作对LNG生产装置没有影响。基于现有LNG生产装置联产氦气的氦气生产系统，则一部分BOG进入氦气生产系统，另一部分依然通过BOG压缩机进行回收液化，对其中的氦气进行循环富集。请参考图4，一种氦气生产系统，包括BOG提氦压缩机10、多股流换热器20、第一节流阀V1、第一分离器30、液氮温区冷却器40和第二分离器50。BOG气体从BOG提氦压缩机10的入口进入BOG提氦压缩机10，BOG提氦压缩机10的出口和多股流换热器20的第一入口连接，多股流换热器20的第一出口和第一节流阀V1的入口连接，第一节流阀V1的出口和第一分离器30的入口连接，第一分离器30的气体出口和冷却器40的入口连接，冷却器40的出口和第二分离器50的入口连接，第二分离器50的气体出口和多股流换热器20的第二入口连接，多股流换热器20的第二出口输出粗氦气。提氦BOG气体首先通过BOG提氦压缩机10进行压缩，然后进入多股流换热器20进行冷却液化。BOG气体冷却液化后的温度不高于-140℃。之后通过第一节流阀V1进行一次节流，此时由于压力降低，大部分氦气闪蒸变为气态，一小部分氦气仍然溶解于液化的BOG凝液中。该气液混合物在第一分离器30中进行气液分离。第一分离器30中的气体进一步通过冷却器40冷却。冷却后的温度为65K～85K。此时绝大部分的氮气和甲烷被液化。在之后的第二分离器50中进行气液分离。气相氦气和氢气纯度达到90％体积比以上，并通过多股流换热器20进行复温，得到粗氦气。上述氦气生产系统利用了BOG气体等温压缩效应进行制冷。上述氦气生产系统，通过多股流换热器20降温后将BOG气体中的部分甲烷和氮气液化，经过第一节流阀V1节流后，大部分氦气闪蒸变为气态。经第一分离器30中进行第一次气液分离，可以去除冷凝的甲烷和氮气。再经过冷却器将气液分离后的气体再次冷凝降温，可以再次将气体中含有的甲烷和氮气液化。经第二分离器50进行第二次气液分离后，可以再次去除冷凝的甲烷和氮气。因此，上述氦气生产系统可以有效提高氦气的纯度。在一个实施例中，冷却器为液氮或减压液氮温区冷却器。液氮或减压液氮温区冷却器满足65K～85K制冷温度的要求。对于液氮或减压液氮温区冷却器40，其冷量可以由防爆型制冷机提供，如大冷量斯特林制冷机。同样也可以由液氮提供冷量。在一个实施例中，氦气生产系统还包括第二节流阀V2和第一开关阀K1，第一分离器30的液体出口和第二节流阀V2的入口连接，第二节流阀V2的出口和多股流换热器20的第三入口连接，多股流换热器20的第三出口和第一开关阀K1的入口连接，第一开关阀K1的出口和BOG压缩机的入口连接。通过第一分离器30分离出的BOG凝液通过第二节流阀V2进行节流至常压，此时氦气进一步闪蒸变为气态，该气液混合物在第三分离器60中进行分离。气体通过在多股流换热器20中进行复温后重新回到BOG提氦压缩机10的吸气侧。而第三分离器60中的液相则复温后通过第一开关阀K1返回到现有LNG生产装置中的BOG压缩机进行循环。此时，氦气生产系统的结构简单。虽然一部分氦气会通过第一分离器30底部的液体流出氦气生产系统，使得氦气生产系统氦提取率降低。但是考虑到这部分氦气通过BOG压缩机仍然会循环回到BOG气体中，所以整个联产系统的氦提取率没有降低。在一个实施例中，氦气生产系统还包括第三分离器60和第二开关阀K2，第二节流阀V2的出口和第三分离器60的入口连接，第三分离器60的气体出口和多股流换热器20的第四入口连接，多股流换热器20的第四出口和第二开关阀K2的入口连接，第二开关阀K2的出口和BOG提氦压缩机10的入口连接。第三分离器60的液体出口和多股流换热器20的第三入口连接，多股流换热器20的第三出口和第一开关阀K1的入口连接，第一开关阀K1的出口和BOG压缩机连接。在一个实施例中，氦气生产系统还包括第三节流阀V3、第三开关阀K3和第四开关阀K4，第二分离器50第二分离器50的液体出口和多股流换热器20的第五入口连接，多股流换热器20的第五出口和第三节流阀V3的入口连接，第三节流阀V3的出口和第四开关阀K4的入口连接，第四开关阀K4的出口和BOG压缩机的入口连接；第三节流阀V3的出口还和第三开关阀K3的入口连接，第三开关阀K3的出口输出氮甲烷混合气体。氮甲烷混合气体可以直接输送至火炬燃烧。第三分离器60分离出的液相中氮含量较高且流量较小，可以复温后通过第三节流阀V3、第三开关阀K3进入火炬燃烧，或者通过第三节流阀V3、第四开关阀K4输出至BOG压缩机继续回收利用。上述氦气生产系统中，第一节流阀V1、第一分离器30、冷却器40、第二分离器50、第二节流阀V2、第三分离器60和多股流换热器20均设冷箱中。在一个实施例中，氦气生产系统还包括第五开关阀K5。第五开关阀K5设于BOG提氦压缩机的入口的前方。上述氦气生产系统中，进入氦气生产系统的BOG气体首先利用低温法进行粗氦制取，将其中He+H2富集到体积比90％以上，脱氦后的BOG气体重新返回到原有BOG回收系统中。请同时参考图5，在一个实施例中，氦气生产系统还包括氦气提纯装置，氦气提纯装置包括催化脱氢装置，催化脱氢装置和多股流换热器20的第二出口连接，催化脱氢装置用于去除粗氦气中的氢气。请同时参考图5，在一个实施例中，氦气提纯装置还包括外纯化器和内纯化器中的一种和氦液化器，外纯化器或内纯化器和催化脱氢装置连接，氦液化器和外纯化器或内纯化器连接。请同时参考图5，在一个实施例中，氦气提纯装置还包括变压吸附装置或变温吸附装置，变压吸附装置或变温吸附装置和催化脱氢装置连接。请同时参考图5，上述氦气生产系统根据产品相态的不同分为两个工艺路线：液氦产品路线和高纯氦气产品路线。对于路线一，粗氦气经过以低温吸附为原理的外纯化器，或经过以低温冷凝冷冻分离为原理的内纯化器将杂质进行去除，之后进行氦液化器进行液化，得到最终的液氦产品。对于路线二，粗氦气经过PSA变压吸附或TSA变温吸附对杂质进行脱除得到高纯氦气产品。此外，还提供一种氦气生产方法，包括以下步骤：S10、将BOG气体降温进行压缩后冷却液化，得到液化后的BOG。S20、将液化后的BOG进行节流，液化后的BOG中溶解的氦气部分变成气态，得到第一气液混合BOG。S30、将第一气液混合BOG进行气液分离，得到混合气体和第一BOG凝液。S40、将混合气体进一步降温，将混合气体中氮气和甲烷液化，得到第二气液混合BOG。S50、将第二气液混合BOG进行气液分离，得到粗氦气和第二BOG凝液。在一个实施例中，氦气生产方法还包括以下步骤：S60、将粗氦气进行脱氢处理。S65、将脱氢处理后的氦气进行干燥。具体的，粗氦气中的氢气可以采用加氧催化反应进行脱氢处理。生成的水在干燥脱水装置中进行脱水，使露点低于-70℃。脱水后的粗氦气纯度不低于90％百分比，杂质为N2和微量的O2。在一个实施例中，氦气生产方法还包括以下步骤：S70、将脱氢处理后的粗氦气进行低温吸附或低温冷凝冷冻去除杂质，然后将去除杂质后的氦气进行液化，得到液氦产品。在一个实施例中，氦气生产方法，还包括以下步骤：S80、将脱氢处理后的粗氦气经PSA变压吸附或TSA变温吸附对杂质进行脱除，得到高纯氦气产品。上述氦气生产方法中，LNG生产工艺中形成的BOG气体中的一部分通过BOG压缩机进行回收液化，对BOG气体中的氦气进行循环富集，BOG气体中的另一部分进行氦气生产。上述氦气生产系统，利用BOG气体本身具有大的J-T系数，通过等温压缩制冷即可实现快速冷却，流程简单高效，且适应能力强。上述氦气生产系统，与现有LNG生产装置有机结合，多种手段保证氦气提取率：通过采用天然气原料气或净化气作为燃料气，只对一部分BOG气体进行提氦处理，而另一部分BOG继续进行氦气富集，提高了氦气提取的经济性。上述氦气生产系统，将BOG气体中的氦气进行提取后，将脱氦BOG气体重新返回现有装置，现有装置无需改动。上述氦气生产方法，将现有LNG生产装置BOG气体中的氦气进行了提取，降低了BOG压缩机的耗电量，提高了现有LNG生产装置的经济性。以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

权利要求：1.一种氦气生产系统，其特征在于，包括BOG提氦压缩机、多股流换热器、第一节流阀、第一分离器、冷却器和第二分离器；BOG气体从所述BOG提氦压缩机的入口进入所述BOG提氦压缩机，所述BOG提氦压缩机的出口和所述多股流换热器的第一入口连接，所述多股流换热器的第一出口和所述第一节流阀的入口连接，所述第一节流阀的出口和所述第一分离器的入口连接，所述第一分离器的气体出口和所述冷却器的入口连接，所述冷却器的出口和所述第二分离器的入口连接，所述第二分离器的气体出口和所述多股流换热器的第二入口连接，所述多股流换热器的第二出口输出所述粗氦气。2.如权利要求1所述的氦气生产系统，其特征在于，还包括第二节流阀和第一开关阀，所述第一分离器的液体出口和所述第二节流阀的入口连接，第二节流阀的出口和所述多股流换热器的第三入口连接，所述多股流换热器的第三出口和所述第一开关阀的入口连接，所述第一开关阀的出口和BOG压缩机的入口连接。3.如权利要求2所述的氦气生产系统，其特征在于，还包括第三分离器和第二开关阀，所述第二节流阀的出口和所述第三分离器的入口连接，所述第三分离器的气体出口和所述多股流换热器的第四入口连接，所述多股流换热器的第四出口和所述第二开关阀的入口连接，所述第二开关阀的出口和所述BOG提氦压缩机的入口连接；所述第三分离器的液体出口和所述多股流换热器的第三入口连接，所述多股流换热器的第三出口和所述第一开关阀的入口连接，所述第一开关阀的出口和所述BOG压缩机连接。4.如权利要求1所述的氦气生产系统，其特征在于，还包括第三节流阀、第三开关阀和第四开关阀，所述第二分离器的液体出口和所述多股流换热器的第五入口连接，所述多股流换热器的第五出口和所述第三节流阀的入口连接，所述第三节流阀的出口和所述第四开关阀的入口连接，所述第四开关阀的出口和BOG压缩机的入口连接；所述第三节流阀的出口还和所述第三开关阀的入口连接，所述第三开关阀的出口输出氮甲烷混合气体。5.如权利要求1所述的氦气生产系统，其特征在于，还包括氦气提纯装置，所述氦气提纯装置包括催化脱氢装置，所述催化脱氢装置和所述多股流换热器的第二出口连接，所述催化脱氢装置用于去除所述粗氦气中的氢气。6.如权利要求5所述的氦气生产系统，其特征在于，所述氦气提纯装置还包括外纯化器和内纯化器中的一种和氦液化器，所述外纯化器或所述内纯化器和所述催化脱氢装置连接，所述氦液化器和所述外纯化器或所述内纯化器连接。7.如权利要求5所述的氦气生产系统，其特征在于，所述氦气提纯装置还包括变压吸附装置或变温吸附装置，所述变压吸附装置或所述变温吸附装置和所述催化脱氢装置连接。8.如权利要求1所述的氦气生产系统，其特征在于，所述冷却器为液氮或减压液氮温区冷却器。9.一种氦气生产方法，其特征在于，包括以下步骤：将BOG气体压缩后冷却液化，得到液化后的BOG；将所述液化后的BOG进行节流，所述液化后的BOG中溶解的氦气部分变成气态，得到第一气液混合BOG；将所述第一气液混合BOG进行气液分离，得到混合气体和第一BOG凝液；将所述混合气体进一步降温，将所述混合气体中氮气和甲烷液化，得到第二气液混合BOG；将所述第二气液混合BOG进行气液分离，得到粗氦气和第二BOG凝液。10.如权利要求9所述的氦气生产方法，其特征在于，还包括以下步骤：将所述粗氦气进行脱氢处理；将脱氢处理后的氦气进行干燥。11.如权利要求10所述的氦气生产方法，其特征在于，还包括以下步骤：将脱氢处理后的粗氦气进行低温吸附或低温冷凝冷冻去除杂质，然后将去除杂质后的氦气进行液化，得到液氦产品。12.如权利要求10所述的氦气生产方法，其特征在于，还包括以下步骤：将脱氢处理后的粗氦气经变压吸附或变温吸附对杂质进行脱除，得到高纯氦气产品。13.如权利要求9所述的氦气生产方法，其特征在于，LNG生产工艺中形成的BOG气体中的一部分通过BOG压缩机进行回收液化，对BOG气体中的氦气进行循环富集，所述BOG气体中的另一部分进行氦气生产。

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