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【发明授权】激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法_云谷(固安)科技有限公司_201910891651.7 

申请/专利权人:云谷(固安)科技有限公司

申请日:2019-09-20

公开(公告)日:2021-04-13

公开(公告)号:CN110661167B

主分类号:H01S3/13(20060101)

分类号:H01S3/13(20060101);B23K26/06(20140101);B23K26/067(20060101);H01L21/268(20060101);H01S5/0683(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.13#授权;2020.02.04#实质审查的生效;2020.01.07#公开

摘要:本发明公开了一种激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法,该激光能量补偿系统包括:第一分束器、调整模块和监控模块,第一分束器用于接收激光信号,将激光信号分成第一束激光信号及第二束激光信号,并将第一束激光信号传输至监控模块,将第二束激光信号传输至调整模块;监控模块用于判断第一束激光信号是否发生变化,并将判断结果传输至调整模块;调整模块用于根据判断结果对第二束激光信号进行调整,并将调整后的第二束激光信号传输至激光信号所在光路。通过实施本发明,不仅可以监控激光能量变化,还可以对激光能量进行补偿,使得激光能量保持稳定,解决了现有激光晶化装置无法使激光能量保持稳定的技术问题。

主权项:1.一种激光能量补偿系统,其特征在于,包括:第一分束器、调整模块和监控模块,所述第一分束器用于接收激光信号,将所述激光信号分成第一束激光信号及第二束激光信号,并将所述第一束激光信号传输至所述监控模块,将所述第二束激光信号传输至所述调整模块;所述监控模块用于判断所述第一束激光信号是否发生变化,并将判断结果传输至所述调整模块;所述调整模块用于根据所述判断结果对所述第二束激光信号进行调整,并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光信号所在光路;所述调整模块包括:第一衰减器、放大器及激光合并器;所述第一衰减器和或所述放大器对所述第二束激光信号进行调整,并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光合并器的第一入口;所述激光合并器的第一入口用于接收所述调整后的第二束激光信号,所述激光合并器的第二入口用于接收原始激光信号,所述激光合并器用于将所述调整后的第二束激光信号和所述原始激光信号合并后,由所述激光合并器的出口输出至所述原始激光信号所在光路。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 云谷(固安)科技有限公司 激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法

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