申请/专利权人:江苏科沛达半导体科技有限公司
申请日:2020-08-03
公开(公告)日:2021-04-13
公开(公告)号:CN212947867U
主分类号:B25J15/06(20060101)
分类号:B25J15/06(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.04.13#授权
摘要:本实用新型涉及一种晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手,包括吸盘罩、吸盘外板、吸盘内板及密封圈,所述吸盘外板套设在吸盘罩底端,吸盘外板与吸盘罩固定连接,吸盘外板底端均匀开设有气孔及气道,所密封圈嵌入吸盘外板底端外缘,所述吸盘内板固定在吸盘罩内,吸盘内板内开设有吸气通道。该晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手采用特殊设计的吸盘,在进行下压吸附晶圆片时,不会造成晶圆片损坏,从而保证了晶圆片的质量,同时能够保证晶圆片与吸盘处于同一圆心,从而保证后续腐蚀精度。
主权项:1.一种晶圆片吸盘机构,其特征在于:包括吸盘罩、吸盘外板、吸盘内板及密封圈,所述吸盘外板套设在吸盘罩底端,吸盘外板与吸盘罩固定连接,吸盘外板底端均匀开设有气孔及气道,所密封圈嵌入吸盘外板底端外缘,所述吸盘内板固定在吸盘罩内,吸盘内板内开设有吸气通道。
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权利要求:
百度查询: 江苏科沛达半导体科技有限公司 晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手
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