【实用新型】精密激光加工晶圆移动系统_河南通用智能装备有限公司_202021701316.0 

申请/专利权人:河南通用智能装备有限公司

申请日:2020-08-16

发明/设计人:陶为银;巩铁建

公开(公告)日:2021-04-13

代理机构:郑州中原专利事务所有限公司

公开(公告)号:CN212946118U

代理人:张春

主分类号:B23K26/70(20140101)

地址:450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

分类号:B23K26/70(20140101);B23K26/38(20140101);H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.13#授权

摘要:本实用新型提供一种精密激光加工晶圆移动系统,包括机架,机架上设置将晶圆托盘从机架上的晶圆储料盒转运到切割平台的晶圆真空吸盘上进行激光加工的移动系统,移动系统包括直线转运机构、转动转运机构以及晶圆真空吸盘移动机构;直线转运机构下方转运位设置可以存放晶圆托盘的托料架;直线转运机构将晶圆托盘在晶圆储料盒的夹持位和转运位之间转换;转动转运机构使晶圆托盘在转运位和切割平台上的加工转运位之间转换;晶圆真空吸盘移动机构使晶圆托盘在切割平台上沿着X方向和Y方向直线移动。本实用新型结构紧凑、定位准确、加工精度高。

主权项:1.精密激光加工晶圆移动系统,包括机架,机架上设置将晶圆托盘从机架上的晶圆储料盒转运到切割平台的晶圆真空吸盘上进行激光加工的移动系统,其特征在于:所述移动系统包括直线转运机构、转动转运机构以及晶圆真空吸盘移动机构;直线转运机构下方转运位设置可以存放晶圆托盘的托料架;直线转运机构将晶圆托盘在晶圆储料盒的夹持位和转运位之间转换;转动转运机构使晶圆托盘在转运位和切割平台上的加工转运位之间转换;晶圆真空吸盘移动机构使晶圆托盘在切割平台上沿着X方向和Y方向直线移动。

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权利要求:

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