申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司

申请日：2020-08-31

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212967607U

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型公开了一种侦测CenturaACP机台传送晶圆完整性的装置，包括激光发射器、激光接收器以及与激光发射器和激光接收器连接的电源，激光发射器和激光接收器中的一个安装在所述机台的晶圆承载腔室顶部，激光发射器和激光接收器中的另一个安装在所述机台的晶圆承载腔室底部，所述激光发射器用于产生一圆形的激光圈或激光环，所述激光接收器用于形成圆形或环形的感应区域，所述激光圈或激光环与所述感应区域在竖直方向上的位置相对，所述晶圆承载腔室内的晶圆位于所述激光发射器和所述激光接收器之间，所述激光发射器发射的激光照射到所述晶圆的边缘。本实用新型可以对晶圆在晶圆承载腔室内的完整性进行实时监控，并且可以有效避免晶圆承载腔室内晶圆破片无法被发现而导致机台被迫停机的情况发生。

主权项：1.一种侦测CenturaACP机台传送晶圆完整性的装置，其特征在于，所述装置包括激光发射器、激光接收器以及与所述激光发射器和所述激光接收器连接的电源，所述激光发射器和所述激光接收器中的一个安装在所述机台的晶圆承载腔室顶部，所述激光发射器和所述激光接收器中的另一个安装在所述机台的晶圆承载腔室底部，所述激光发射器用于产生一圆形的激光圈或激光环，所述激光接收器用于形成圆形的或环形的感应区域，所述激光圈或激光环与所述感应区域在竖直方向上的位置相对，所述晶圆承载腔室内的晶圆位于所述激光发射器和所述激光接收器之间，所述激光发射器发射的激光照射到所述晶圆的边缘区域中。

全文数据：

权利要求：

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