【实用新型】检测系统_大量科技股份有限公司_202021858073.1 

申请/专利权人:大量科技股份有限公司

申请日:2020-08-31

发明/设计人:张聪德;李韦序

公开(公告)日:2021-04-13

代理机构:广州华进联合专利商标代理有限公司

公开(公告)号:CN212963247U

代理人:黄隶凡

主分类号:G01B11/28(20060101)

地址:中国台湾桃园市八德区友联街49号

分类号:G01B11/28(20060101);G01B11/06(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.13#授权

摘要:一种适于检测物件下的外溢底胶面积与高度的检测系统。检测系统包括适于检测物件下的外溢底胶高度的侧向取像装置。侧向取像装置包括侧向光源以及侧向影像传感器。侧向光源用以发出侧向光束,使侧向光束朝物件的侧表面照射,其中侧向光束与物件正表面法线之间的夹角为45度。侧向光束经物件的反射后产生侧向反射光束。侧向影像传感器设置在侧向反射光束的传递路径上。

主权项:1.一种检测系统,适于检测物件下的外溢底胶面积与高度,其特征在于,包括适于检测所述物件下的所述外溢底胶高度的侧向取像装置,所述侧向取像装置包括:侧向光源,用以发出侧向光束,使所述侧向光束朝所述物件的侧表面照射,其中所述侧向光束与所述物件正表面法线之间的夹角为45度,所述侧向光束经所述物件的反射后产生侧向反射光束;以及侧向影像传感器,设置在所述侧向反射光束的传递路径上,其中所述外溢底胶为所述物件下的底胶在基板上的分布范围中,超出所述物件在所述基板上覆盖的区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 大量科技股份有限公司 检测系统