【实用新型】一种激光晶圆切割用晶圆片的可调式夹具装置_河南通用智能装备有限公司_202021861106.8 

申请/专利权人:河南通用智能装备有限公司

申请日:2020-08-31

发明/设计人:巩铁建;陶为银

公开(公告)日:2021-04-13

代理机构:郑州中原专利事务所有限公司

公开(公告)号:CN212946120U

代理人:范小方

主分类号:B23K26/70(20140101)

地址:450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

分类号:B23K26/70(20140101);B23K37/04(20060101);B23K26/38(20140101);B23K101/40(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.13#授权

摘要:本实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的可调式夹具装置,包括外壳体、X轴滑槽、内壳体、第二滑块和底座,外壳体底部设置有控制台,外壳体内部上方设置有镶嵌在外壳体中的X轴滑槽,外壳体内部左侧设置有镶嵌在外壳体中的Y轴滑槽,内壳体底部设置有底座,内壳体上方设置有耐磨垫,且内壳体内部设置有镶嵌在内壳体上的调整滑槽,调整滑槽左上方设置有第一滑块,第一滑块下方设置有第二滑块,第一滑块右侧设置有固定块,固定块下方设置有第三滑块,切割刀垂直于底座,且切割刀垂直于内壳体,内壳体内侧底部设置的软垫粘贴在底座上,内壳体底部,切割台固定在底座上,且软垫固定在切割台内部,第二滑块右侧固定的滑动柱右侧末端穿过限位孔。

主权项:1.一种激光晶圆切割用晶圆片的可调式夹具装置,包括外壳体(1)、X轴滑槽(5)、内壳体(10)、第二滑块(17)和底座(22),其特征在于:所述外壳体(1)底部设置有控制台(19),外壳体(1)内部上方设置有镶嵌在外壳体(1)中的X轴滑槽(5),外壳体(1)内部左侧设置有镶嵌在外壳体(1)中的Y轴滑槽(20),Y轴滑槽(20)右侧设置有固定在Y轴滑槽(20)上的Y轴液压棒(21),Y轴液压棒(21)右侧末端连接有伸缩杆(4),X轴滑槽(5)下方底部设置有X轴液压棒(6),X轴液压棒(6)底部末端设置有伸缩杆(4),伸缩杆(4)末端连接有X轴连板(7),且X轴连板(7)两侧设置有穿过X轴连板(7)固定在内壳体(10)上的螺栓(3),Y轴连板(18)两侧设置有穿过Y轴连板(18)固定在内壳体(10)上的螺栓(3),内壳体(10)底部设置有底座(22),内壳体(10)上方设置有耐磨垫(8),且内壳体(10)内部设置有镶嵌在内壳体(10)上的调整滑槽(16),调整滑槽(16)左上方设置有第一滑块(2),第一滑块(2)下方设置有第二滑块(17),第一滑块(2)右侧设置有固定块(9),固定块(9)下方设置有第三滑块(13),调整滑槽(16)两侧设置有固定在调整滑槽(16)上的滑动柱(15),第一滑块(2)和第三滑块(13)侧边设置有限位孔(14)。

全文数据:

权利要求:

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