申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2020-06-03

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212955305U

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型涉及蒸镀掩膜板技术领域，特别涉及一种蒸镀掩膜板和OLED器件，包括第一掩膜基板、第二掩膜基板和通电线圈，第一掩膜基板与第二掩膜基板相互贴合，通电线圈套设在第一掩膜基板外壁，使得在通电线圈通上电流时，第一掩膜基板和通电线圈构成一个磁铁，这样可以通过改变电流的方向来改变磁铁的阴阳极，也可以通过调节电流的大小来控制磁铁的磁性大小，进而来调节蒸镀掩膜板的极性和洛伦磁力的大小，实现蒸镀掩膜板的洛伦磁力和本身重力的平衡，以此消除蒸镀掩膜板被磁化带来的影响，从而提高蒸镀器件的良率，提高产品品质。

主权项：1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，包括第一掩膜基板、第二掩膜基板和通电线圈，所述第一掩膜基板与第二掩膜基板相互贴合，所述第一掩膜基板上开设有两个以上呈阵列分布的第一通槽，所述第二掩膜基板上开设有两个以上呈阵列分布的第二通槽，所述第二通槽的数量与第一通槽的数量相同，所述第一通槽与第二通槽一一对应设置且相通，所述通电线圈套设在第一掩膜基板外壁。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种蒸镀掩膜板和OLED器件

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