申请/专利权人：苏州华兴源创科技股份有限公司

申请日：2020-06-29

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212965037U

主分类号：G01R1/04(20060101)

分类号：G01R1/04(20060101);G01R31/28(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型公开了一种吸附结构及芯片检测设备，该吸附结构包括：固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；吸附组件，一端伸入所述旋转轴并与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸附组件内部的吸附气道与所述通气孔连通；导向件，套设于所述旋转轴内部的所述吸附组件上以便在跟随所述旋转轴同步转动为所述吸附组件提供导向；及限位件，设置于所述旋转轴的端部，跟随所述旋转轴转动并对所述导向件限位。

主权项：1.一种吸附结构，其特征在于，包括：固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；吸附组件，一端伸入所述旋转轴并与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸附组件内部的吸附气道与所述通气孔连通；导向件，套设于所述旋转轴内部的所述吸附组件上以便在跟随所述旋转轴同步转动为所述吸附组件提供导向；以及限位件，设置于所述旋转轴的端部，跟随所述旋转轴转动并对所述导向件限位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州华兴源创科技股份有限公司 吸附结构及芯片检测设备

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