申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-06-30

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212960913U

主分类号：F17D1/14(20060101)

分类号：F17D1/14(20060101);F17D3/00(20060101);F17D3/01(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：该实用新型涉及供液装置，能够提升液体化学品在传输过程中的流量测量准确度，提升传输的稳定性，提升使用效果。为解决上述技术问题，以下提供了一种供液装置，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。

主权项：1.一种供液装置，其特征在于，包括：供液箱，用于提供待运送的液体化学品；供液管路，用于连通所述供液箱以及目标机台，以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台；排泡管路，一端连通至所述供液管路，另一端用于连通至外界，以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 供液装置

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