申请/专利权人：河北冠靶科技有限公司

申请日：2020-07-20

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212955323U

主分类号：C23C14/35(20060101)

分类号：C23C14/35(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型公开了靶材溅射装置，包括底座，所述底座的上端中部固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的右端下部均开有移动口，两个所述支撑板的相对面上部共同固定连接有限位杆，右侧所述支撑板的右端上部穿插活动连接有移动装置，所述底座的上端中部开有滑槽，所述滑槽内滑动连接有放置装置，所述底座的上端左部和上端右部均固定连接有挡板，右侧所述挡板的右端下部穿插固定连接有推动装置。本实用新型所述的靶材溅射装置，通过设置放置装置和推动装置，便于两个靶材交替进行镀膜，缩短了更换靶材的时间，提高了生产效率，通过设置移动装置，提高了对靶材轰击的均匀性，延长了靶材的使用寿命。

主权项：1.靶材溅射装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的上端中部固定连接有两个支撑板2，两个所述支撑板2的右端下部均开有移动口7，两个所述支撑板2的相对面上部共同固定连接有限位杆9，右侧所述支撑板2的右端上部穿插活动连接有移动装置8，所述底座1的上端中部开有滑槽4，所述滑槽4内滑动连接有放置装置3，所述底座1的上端左部和上端右部均固定连接有挡板5，右侧所述挡板5的右端下部穿插固定连接有推动装置6。

全文数据：

权利要求：

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