申请/专利权人：常州市奥普泰克光电科技有限公司

申请日：2020-07-24

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212965651U

主分类号：G02B27/09(20060101)

分类号：G02B27/09(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型公开一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。本实用新型采用三片球面镜对激光光束进行准直，再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直，微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚，而对X方向的光束进行发散，最终在工作面上形成长度为180‑200mm，宽度为0.6‑0.8mm的线性光斑，相邻微透镜阵列之间重合光斑区域5mm，重叠光斑优化完成均匀度在90%左右。

主权项：1.一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，其特征在于，包括：沿着光线入射方向依次设有三片球面镜和两片微透镜，球面镜分别包括第一球面镜、第二球面镜和第三球面镜，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。

全文数据：

权利要求：

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