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【实用新型】一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器_南京理工雷鹰电子科技有限公司_202021690934.X 

申请/专利权人:南京理工雷鹰电子科技有限公司

申请日:2020-08-14

公开(公告)日:2021-04-20

公开(公告)号:CN213026440U

主分类号:H01P5/12(20060101)

分类号:H01P5/12(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.20#授权

摘要:本实用新型提供一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器,其包括下层板,所述下层板上竖直设置有矩形柱,以及T形路径,所述矩形柱沿所述T形路径外侧边均匀分布形成阻隔壁,所述下层板上设置有调谐柱,所述矩形柱上方设置有上层板;本实用新型采用MEMS半导体加工工艺代替传统的纯金属结构,在拥有更高的加工精度的同时,减少了金属用量,降低了功分器的重量,实现了结构的轻量化。另一方面基于MEMS工艺的功分器所使用的的介质基底与集成电路相同,易于与其它器件集成在一起。

主权项:1.一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器,其特征在于:包括,下层板101,所述下层板101上竖直设置有矩形柱102,以及T形路径105,所述矩形柱102沿所述T形路径105外侧边均匀分布形成阻隔壁104,所述下层板101上设置有调谐柱103,所述矩形柱102上方设置有上层板201。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 南京理工雷鹰电子科技有限公司 一种基于MEMS工艺的间隙波导功分器

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