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【发明公布】用于气体放电台的本体的量测_西默有限公司_201980059291.2 

申请/专利权人:西默有限公司

申请日:2019-08-15

公开(公告)日:2021-04-23

公开(公告)号:CN112703451A

主分类号:G03F7/20(20060101)

分类号:G03F7/20(20060101);G03F9/02(20060101)

优先权:["20180912 US 62/730,428"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.05.11#实质审查的生效;2021.04.23#公开

摘要:一种光源装置包括气体放电台,其包括:三维本体,该三维本体限定空腔,该空腔被配置为与能量源交互,该本体包括至少两个端口,该至少两个端口可以透射波长在紫外线范围内的光束;传感器系统,其包括多个传感器,每个传感器被配置为测量气体放电台的本体的相应不同区域相对于该传感器的物理方面;以及控制装置,其与传感器系统通信。控制装置被配置为分析从传感器测量的物理方面,从而确定气体放电台的本体在X轴所限定的XYZ坐标系中的位置,其中X轴由气体放电台的几何形状限定。

主权项:1.一种光源装置,包括:气体放电台,包括三维本体,所述三维本体限定了空腔,所述空腔被配置为与能量源交互,所述本体包括至少两个端口,所述至少两个端口能够透射波长在紫外线范围内的光束;传感器系统,包括多个传感器,每个传感器被配置为测量所述气体放电台的所述本体的相应不同区域相对于所述传感器的物理方面;以及控制装置,与所述传感器系统通信并且被配置为分析从所述传感器测量的所述物理方面,从而确定所述气体放电台的所述本体在X轴所限定的XYZ坐标系中的位置,其中所述X轴由所述气体放电台的几何形状限定。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西默有限公司 用于气体放电台的本体的量测

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