申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-12-08

公开（公告）日：2021-04-23

公开（公告）号：CN112697827A

主分类号：G01N23/2202(20180101)

分类号：G01N23/2202(20180101);G01N23/2251(20180101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.01.25#授权;2021.05.11#实质审查的生效;2021.04.23#公开

摘要：本发明实施例公开了一种验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法，所述方法包括：提供一表面为100晶面的硅基底，所述硅基底的所述表面具有目标区域；围绕所述目标区域，对所述硅基底进行切割，得到一包含所述目标区域的样品；对所述样品的所述目标区域进行加工，暴露出待扫描面，得到包含所述待扫描面的标样；其中，所述待扫描面为{112}晶面族中的晶面。

主权项：1.一种验证扫描透射电镜分辨率的标样的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供一表面为100晶面的硅基底，所述硅基底的所述表面具有目标区域；围绕所述目标区域，对所述硅基底进行切割，得到一包含所述目标区域的样品；对所述样品的所述目标区域进行加工，暴露出待扫描面，得到包含所述待扫描面的标样；其中，所述待扫描面为{112}晶面族中的晶面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 验证扫描透射电镜分辨率的标样及其制备方法、验证方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD